[实用新型]真空镀膜机的冷却系统有效
申请号: | 201920805492.X | 申请日: | 2019-05-30 |
公开(公告)号: | CN210065894U | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 张德军 | 申请(专利权)人: | 深圳市创基真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/54;C23C16/44;C23C16/52 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518015 广东省深圳市宝安区沙井街道沙头工业区民福路8号*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 进水流量控制装置 出水 出水温度检测装置 真空镀膜机 控制器 进水口 本实用新型 热交换管道 进水流量 出水管 出水口 腔体 冷却系统 预设置 组设置 检测 流出 传递 | ||
1.一种真空镀膜机的冷却系统,包括真空镀膜机腔体(1)和热交换管道组,其特征在于:
所述热交换管道组布设于真空镀膜机腔体(1)内侧壁上,所述冷却系统还包括:出水温度检测装置(3)、进水流量控制装置、控制器(5)和出水管(61),所述热交换管道组设置有进水口(21)和出水口(22),所述出水管(61)与所述出水口(22)相连通,所述进水流量控制装置与所述进水口(21)相连通,所述出水温度检测装置(3)固定连接在所述出水管(61)的内壁上,
所述出水温度检测装置(3)用于检测从所述出水口(22)中流出水的温度,所述进水流量控制装置用于控制进入所述进水口(21)处的进水流量大小,所述出水温度检测装置(3)、所述进水流量控制装置均与所述控制器(5)电性连接,
所述出水温度检测装置(3)将检测到的实时出水温度值传递给所述控制器(5),所述控制器(5)内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较,并根据比较结果去控制所述进水流量控制装置工作,以增大或者缩小进水流量。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的冷却系统,其特征在于:
所述出水温度检测装置(3)包括:安装座(31)和多个温度传感器(32),所述安装座(31)固定连接在所述出水管(61)的内侧壁上,多个所述温度传感器(32)均匀间隔设置在所述安装座(31)上。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机的冷却系统,其特征在于:
所述进水流量控制装置包括:第一进水箱(41)、第二进水箱(42)、第一进水管(43)、第二进水管(44)、第三进水管(45)、电子三向阀(46)和电动调节阀(47),所述电子三向阀(46)的三个开口分别与所述第一进水管(43)、所述第二进水管(44)、所述第三进水管(45)相连通,所述第一进水管(43)远离所述电子三向阀(46)的一端连通所述第一进水箱(41),所述第二进水管(44)远离所述电子三向阀(46)的一端连通所述第二进水箱(42),所述第三进水管(45)远离所述电子三向阀(46)的一端与所述进水口(21)连通,所述电动调节阀(47)设于所述第三进水管(45)上,
所述第一进水箱(41)内水的温度为11-20摄氏度,所述第二进水箱(42)内水的温度1-10摄氏度,所述电子三向阀(46)、所述电动调节阀(47)均与所述控制器(5)电性连接。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜机的冷却系统,其特征在于:
所述热交换管道组还包括:分水管(23)、汇水管(24)和多个流动管(25),多个所述流动管(25)的两端分别与所述分水管(23)、所述汇水管(24)相连通,所述分水管(23)与所述进水口(21)相连通,所述汇水管(24)与所述出水口(22)相连通。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜机的冷却系统,其特征在于:
多个所述流动管(25)均匀间隔布置在所述真空镀膜机腔体(1)的内侧壁上,所述流动管(25)均呈现为弯曲形状。
6.根据权利要求4所述的真空镀膜机的冷却系统,其特征在于:
所述流动管(25)内壁上设置有多个凸状体(251),所述流动管(25)内还安装有液体缓冲机构(252)。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜机的冷却系统,其特征在于:
所述液体缓冲机构(252)包括:转动杆(2521)和弹性件(2522),所述转动杆(2521)的一端与所述流动管(25)内壁转动连接,所述弹性件(2522)的一端固定在所述转动杆(2521)的另一端,所述弹性件(2522)的另一端在受到水流冲击时与所述流动管(25)内壁相抵接,所述弹性件(2522)具体为弹簧。
8.根据权利要求1所述的真空镀膜机的冷却系统,其特征在于:
所述真空镀膜机的冷却系统还包括出水储存箱(6),所述出水储存箱(6)与所述出水管(61)相连通,所述出水储存箱(6)内部设有水箱过滤器(62),所述水箱过滤器(62)包括:粗滤网(621)、细滤网(623)、多孔泡沫介质(622)和环形滤网安装板(624),所述出水储存箱(6)上端的内侧壁上固定有供所述水箱过滤器(62)卡接的环形凸块(63),所述环形安装板的底部卡接在所述环形凸块(63)内,所述粗滤网(621)固定连接在所述环形滤网安装板(624)的上方,所述粗滤网(621)、所述多孔泡沫介质(622)、所述细滤网(623)由上至下依次布置,所述环形滤网安装板(624)的上表面还设置有勾环(625)。
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