[实用新型]真空镀膜机的冷却系统

说明书

本实用新型涉及一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体、热交换管道组、出水温度检测装置、进水流量控制装置、控制器和出水管，热交换管道组设置有进水口和出水口，出水管与出水口相连通，进水流量控制装置与进水口相连通，出水温度检测装置用于检测从出水口中流出水的温度，进水流量控制装置用于控制进入进水口处的进水流量大小，出水温度检测装置将检测到的实时出水温度值传递给控制器，控制器内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较，并根据比较结果去控制进水流量控制装置工作，以增大或者缩小进水流量。本实用新型具有能够根据不同的降温需要及时将真空镀膜机腔体的内部温度迅速降至所需温度的效果。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机的技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜机的冷却系统。

背景技术

真空镀膜机主要是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，其已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制造的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，如数码相机、望远镜、显示技术、半导体激光、微机电系统、各种滤光片、建筑玻璃、汽车工业、眼镜片等等，镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。在使用真空镀膜设备制备薄膜材料时，由于必须达到一定的真空度时才可以进行镀膜过程，普遍采用油扩散泵来实现真空镀膜的真空条件。冷却系统是保证油扩散泵正常工作的重要条件，在真空镀膜装置上也是一个极为重要的系统。

现检索到一篇公布号为CN208008874U的中国实用新型专利公开了一种真空镀膜机冷却装置，包括：机体、金属导热管、进水管、出水管、散热板和散热风扇，该装置能够提高灌输到金属导热管内部的冷却液的利用率，具有较好的冷却降温效果，便于实际使用。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：真空镀膜机在进行不同的镀膜工作时，真空镀膜机腔体内所需要的降温量是不一样的，上述装置不能准确控制真空镀膜机腔体内部的降温量,不能根据不同的降温需要及时将真空镀膜机腔体的内部温度迅速降至所需温度。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空镀膜机的冷却系统，具有能够根据不同的降温需要及时将真空镀膜机腔体的内部温度迅速降至所需温度的优点。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体和热交换管道组，

所述热交换管道组布设于真空镀膜机腔体内侧壁上，所述冷却系统还包括：出水温度检测装置、进水流量控制装置、控制器和出水管，所述热交换管道组设置有进水口和出水口，所述出水管与所述出水口相连通，所述进水流量控制装置与所述进水口相连通，所述出水温度检测装置固定连接在所述出水管的内壁上，

所述出水温度检测装置用于检测从所述出水口中流出水的温度，所述进水流量控制装置用于控制进入所述进水口处的进水流量大小，所述出水温度检测装置、所述进水流量控制装置均与所述控制器电性连接，

所述出水温度检测装置将检测到的实时出水温度值传递给所述控制器，所述控制器内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较，并根据比较结果去控制所述进水流量控制装置工作，以增大或者缩小进水流量。