[实用新型]一种砷化镓单晶炉电气控制系统有效
| 申请号： | 201920807111.1 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN209765308U | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 代晓波 | 申请（专利权）人： | 独山中科晶元信息材料有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 11212 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人： | 谈杰 |
| 地址： | 558200 贵州省黔南布依*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多流道 温度调节器 操作面板 气体控制 水路检测 运动控制 中心控制 流道 电气控制系统 加热器 本实用新型 砷化镓单晶 温度控制器 输出压力 水流通道 水流通过 增压设备 节能 | ||
1.一种砷化镓单晶炉电气控制系统，包括中心控制部分、运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板(11)，所述运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板(11)分别与所述中心控制部分相连，其特征在于：所述温度控制部分包括多流道温度调节器(8)和加热器(9)；
其中，所述多流道温度调节器(8)内部含有输出压力不同的若干条水流通道。
2.根据权利要求1所述一种砷化镓单晶炉电气控制系统，其特征在于：所述多流道温度调节器(8)内部设置有三条输出压力不同的水流通道，分别为主流道(801)、第一副流道(804)和第二副流道(805)，所述第一副流道(804)与第二副流道(805)的输入输出端均与所述主流道(801)相连通。
3.根据权利要求2所述一种砷化镓单晶炉电气控制系统，其特征在于：所述主流道(801)、所述第一副流道(804)和所述第二副流道(805)上均设置有关闭流道的阀门结构。
4.根据权利要求3所述一种砷化镓单晶炉电气控制系统，其特征在于：所述阀门结构为电磁阀，对应主流道(801)、第一副流道(804)和第二副流道(805)的分别为主电磁阀(807)、第一电磁阀(802)和第二电磁阀(808)，其中所述主电磁阀(807)位于所述第一副流道(804)的输入端和输出端之间，且该主电磁阀(807)位于所述第二副流道(805)的输入端和输出端之间，且所述第一副流道(804)上安装有第一增压泵(803)，所述第二副流道(805)上安装有第二增压泵(806)。
5.根据权利要求4所述一种砷化镓单晶炉电气控制系统，其特征在于：所述第一电磁阀(802)位于所述第一副流道(804)的输入端与所述第一增压泵(803)之间。
6.根据权利要求4所述一种砷化镓单晶炉电气控制系统，其特征在于：所述第二电磁阀(808)位于所述第二副流道(805)的输入端与所述第二增压泵(806)之间。
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