[实用新型]一种砷化镓单晶炉电气控制系统

说明书

本实用新型公开了一种砷化镓单晶炉电气控制系统，包括中心控制部分、运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板，所述运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板分别与所述中心控制部分相连，所述温度控制部分包括多流道温度调节器和加热器；其中，所述多流道温度调节器内部含有输出压力不同的若干条水流通道。有益效果在于：通过采用多流道温度调节器，可通过控制水流通过不同的流道，控制水流的流速，从而对应不同的升温速度，控制操作简单；通过多流道温度控制器，可在需要不同升温速度时，开启对应的流道，可防止增压设备常开，更加节能。

技术领域

本实用新型涉及砷化镓单晶炉控制技术领域，具体涉及一种砷化镓单晶炉电气控制系统。

背景技术

砷化镓是微电子领域和光电子领域的重要材料，现有的砷化镓单晶炉通常采用可编程控制器控制。申请号为：CN201110429502.2的中国专利中，公开了一种砷化镓单晶炉电气控制系统，通过采用可编程控制器调节砷化镓单晶炉的使用状态。在上述控制系统中，温度控制部分采用多段式温度调节器，其内部通过一功率可调的水泵输送水流，从而通过调节不同的流量调节不同的升温效率。此种控制方式在使用时存在以下不足：由于需要调节水泵的功率，因而只能进行线性调节水流速度，无法针对不同的升温需求快速调节至指定水流速度；水泵一直处于开启状态，消耗电能较多，造成了资源浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种砷化镓单晶炉电气控制系统，本实用新型提供的诸多技术方案中优选的技术方案具有：节约能源，可通过设置多档式调节，提高调节的效率和准确性等技术效果，详见下文阐述。

为实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：

本实用新型提供的一种砷化镓单晶炉电气控制系统，包括中心控制部分、运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板，所述运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板分别与所述中心控制部分相连，所述温度控制部分包括多流道温度调节器和加热器；

其中，所述多流道温度调节器内部含有输出压力不同的若干条水流通道。

作为优选，所述多流道温度调节器内部设置有三条输出压力不同的水流通道，分别为主流道、第一副流道和第二副流道，所述第一副流道与第二副流道的输入输出端均与所述主流道相连通。

作为优选，所述主流道、所述第一副流道和所述第二副流道上均设置有关闭流道的阀门结构。

作为优选，所述阀门结构为电磁阀，对应主流道、第一副流道和第二副流道的分别为主电磁阀、第一电磁阀和第二电磁阀，其中所述主电磁阀位于所述第一副流道的输入端和输出端之间，且该主电磁阀位于所述第二副流道的输入端和输出端之间，且所述第一副流道上安装有第一增压泵，所述第二副流道上安装有第二增压泵。

作为优选，所述第一电磁阀位于所述第一副流道的输入端与所述第一增压泵之间。

作为优选，所述第二电磁阀位于所述第二副流道的输入端与所述第二增压泵之间。

综上，本实用新型的有益效果在于：1、通过采用多流道温度调节器，可通过控制水流通过不同的流道，控制水流的流速，从而对应不同的升温速度，控制操作简单；

2、通过多流道温度控制器，可在需要不同升温速度时，开启对应的流道，可防止增压设备常开，更加节能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的控制系统框图；