[实用新型]单晶炉有效

申请号：	201920807266.5	申请日：	2019-05-31
公开（公告）号：	CN210030953U	公开（公告）日：	2020-02-07
发明（设计）人：	马腾飞;汪奇;王楠;马新成;邹昌盛;段永兵;王军;陈龑;豆欣研	申请（专利权）人：	新疆晶科能源有限公司
主分类号：	C30B15/00	分类号：	C30B15/00;C30B29/06
代理公司：	11348 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)	代理人：	孟阿妮;张小勇
地址：	835800 新疆维吾尔自***	国省代码：	新疆;65
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摘要：
搜索关键词：	排气管单晶炉本实用新型活塞部件进气部件排气部炉体单晶硅设备滑动连接一端连接出炉吹扫内壁排气阻塞体内
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【权利要求书】：

1.一种单晶炉，其特征在于，包括：

炉体；

排气部，所述排气部包括进气部件、排气管和活塞部件，所述排气管的一端连接于所述炉体，用于排出所述炉体内的杂质，所述活塞部件设置在所述排气管内，并且滑动连接于所述排气管，用于刮去所述排气管的内壁上的杂质，所述进气部件连接于所述排气管，用于吹扫所述排气管。

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，

所述排气管包括第一排气管、第二排气管、第三排气管和连接管，所述第一排气管和所述第二排气管分别连接于所述炉体，所述连接管的两端分别连接于所述第一排气管和所述第二排气管，所述第三排气管连接于所述连接管的中部，所述进气部件分别连接于所述第一排气管和所述第二排气管，所述活塞部件设置在所述连接管内，并且滑动连接于所述连接管。

3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，

所述第一排气管和所述第二排气管分别连接于所述炉体的底部。

4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于，

所述进气部件包括进气装置、第一进气管和第二进气管，所述第一进气管的一端连接于所述进气装置，另一端连接于所述第一排气管，所述第二进气管的一端连接于所述进气装置，另一端连接于所述第二排气管。

5.根据权利要求4所述的单晶炉，其特征在于，

所述第一进气管设置在所述第一排气管靠近所述炉体的底部位置，所述第二进气管设置在所述第二排气管靠近所述炉体的底部位置。

6.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，

所述连接管的两端分别可拆卸连接于所述第一排气管和所述第二排气管。

7.根据权利要求2至6任一项所述的单晶炉，其特征在于，

所述活塞部件包括驱动器、滑轨和活塞件，所述驱动器连接于所述活塞件，所述滑轨设置在所述连接管的内壁上，所述活塞件滑动连接于所述滑轨。

8.根据权利要求7所述的单晶炉，其特征在于，

所述活塞件的边缘位置具有刮片，所述刮片与所述连接管的内壁相互贴合，用于刮去附着在所述连接管的内壁上的杂质。