[实用新型]一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台有效

专利信息
申请号: 201920811812.2 申请日: 2019-05-31
公开(公告)号: CN210108854U 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 张丹利;田鑫涛;单智伟 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: G01N3/08 分类号: G01N3/08;G01N23/2204;G01N23/2206
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 姚咏华
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 适用于 纳米 压痕 电子显微镜 样品 多功能
【权利要求书】:

1.一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,包括一个矩形柱状的具有磁性的钢基块(1),在钢基块(1)上表面设有用于放置和固定扫描电镜钉型样品台的插孔(2),在钢基块(1)的前侧设有用于放置透射电镜力学加载用样品托的凹槽(5),所述凹槽(5)贯通钢基块(1)的侧壁;凹槽(5)底壁设有用于安装样品托的螺孔(6);钢基块(1)后侧设有用于安装钉型样品台的螺孔(3)。

2.根据权利要求1所述的一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,所述凹槽(5)将样品托卡入,样品托的一侧表面的凸起卡在钢基块上(1)表面,并通过螺栓穿入用于安装样品托的螺孔(6)中安装定位。

3.根据权利要求1或2所述的一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,所述用于安装样品托的螺孔(6)至少设有两个,设于凹槽(5)底壁上部。

4.根据权利要求1所述的一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,用于安装钉型样品台的螺孔(3)为一个,设于与所述用于安装样品托的螺孔(6)相对侧面的钢基块(1)上;用于安装钉型样品台的螺孔(3)与钢基块(1)上表面的插孔(2)连通。

5.根据权利要求1所述的一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,用于安装样品托的螺孔(6)的直径小于用于安装钉型样品台的螺孔(3)的直径。

6.根据权利要求1所述的一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,所述钢基块(1)采用具有磁性的45钢材料。

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