[实用新型]一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台有效
申请号: | 201920811812.2 | 申请日: | 2019-05-31 |
公开(公告)号: | CN210108854U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 张丹利;田鑫涛;单智伟 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G01N3/08 | 分类号: | G01N3/08;G01N23/2204;G01N23/2206 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 姚咏华 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 纳米 压痕 电子显微镜 样品 多功能 | ||
1.一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,包括一个矩形柱状的具有磁性的钢基块(1),在钢基块(1)上表面设有用于放置和固定扫描电镜钉型样品台的插孔(2),在钢基块(1)的前侧设有用于放置透射电镜力学加载用样品托的凹槽(5),所述凹槽(5)贯通钢基块(1)的侧壁;凹槽(5)底壁设有用于安装样品托的螺孔(6);钢基块(1)后侧设有用于安装钉型样品台的螺孔(3)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,所述凹槽(5)将样品托卡入,样品托的一侧表面的凸起卡在钢基块上(1)表面,并通过螺栓穿入用于安装样品托的螺孔(6)中安装定位。
3.根据权利要求1或2所述的一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,所述用于安装样品托的螺孔(6)至少设有两个,设于凹槽(5)底壁上部。
4.根据权利要求1所述的一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,用于安装钉型样品台的螺孔(3)为一个,设于与所述用于安装样品托的螺孔(6)相对侧面的钢基块(1)上;用于安装钉型样品台的螺孔(3)与钢基块(1)上表面的插孔(2)连通。
5.根据权利要求1所述的一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,用于安装样品托的螺孔(6)的直径小于用于安装钉型样品台的螺孔(3)的直径。
6.根据权利要求1所述的一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台,其特征在于,所述钢基块(1)采用具有磁性的45钢材料。
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