[实用新型]一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台

说明书

本实用新型公开了一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台，包括一个矩形柱状的具有磁性的钢基块，在钢基块上表面设有用于放置和固定扫描电镜钉型样品台的插孔，在钢基块的前侧设有用于放置透射电镜力学加载用样品托的凹槽，凹槽贯通钢基块的侧壁；凹槽底壁设有用于安装样品托的螺孔；钢基块后侧设有用于安装钉型样品台的螺孔。本实用新型解决了目前样品转移繁琐、易遭受污染和损坏的问题，增加了纳米压痕仪和电子显微镜之间的联用程度。

技术领域

本实用新型属于材料力学性能研究的样品台，特别是一种用于纳米压痕仪和电子显微镜联用的多功能样品台。

背景技术

纳米压痕仪是用于微纳尺度材料力学性能研究的重要工具之一。该设备可根据需求安装不同形状和材质的压头对样品进行压入、压缩和划擦等实验，从而获得材料的硬度、弹性模量、断裂韧性、强度、摩擦性能等力学性能参数。目前电子显微镜(包括扫描电子显微镜、聚焦离子束切割设备和透射电子显微镜)是微纳尺度材料制备和表征常用的设备，在材料力学性能研究领域发挥了不可替代的作用。

Bruker-Hysitron的TI系列产品是纳米力学测试领域应用相当广泛的仪器。该系列产品多是通过磁性固定样品。对于多数没有磁性的样品，需要用胶水将样品粘在有磁性的铁片上才能进行测试。若后期需要表征压痕形貌，还需将样品从铁片上取下。而在取样的过程中，样品容易被污染。对于微米尺度的柱体压缩而言，需要将样品从聚焦离子束切割设备的样品台上取下，再用胶粘在铁片上进行压缩，若需表征微柱压缩后的形貌，还需再次取样，清理完胶后重新粘在扫描电镜样品台上进行表征，样品转移过程极其繁琐，样品遭受污染和破坏的概率大大增加。

另外，透射电子显微镜中的一些力学加载实验若不需实时观察，也可在纳米压痕仪上完成。但困于样品安装问题，至今很难实施。

因此，加工一种纳米压痕仪和电子显微镜联用的多功能样品台具有重要意义。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多功能样品台，该样品台适用于纳米压痕仪设备，扫描电子显微镜和透射电子显微镜，解决了目前样品转移繁琐、易遭受污染和损坏的问题，增加了纳米压痕仪和电子显微镜之间的联用程度。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种适用于纳米压痕仪和电子显微镜样品的多功能样品台，包括一个矩形柱状的具有磁性的钢基块，在钢基块上表面设有用于放置和固定扫描电镜钉型样品台的插孔，在钢基块的前侧设有用于放置透射电镜力学加载用样品托的凹槽，凹槽贯通钢基块的侧壁；所述凹槽底壁设有用于安装样品托的螺孔；钢基块后侧设有用于安装钉型样品台的螺孔。

进一步，所述凹槽将样品托卡入，样品托的一侧表面的凸起卡在钢基块上表面，并通过螺栓穿入用于安装样品托的螺孔中安装定位。

进一步，所述用于安装样品托的螺孔至少设有两个，设于凹槽底壁上部。

进一步，用于安装钉型样品台的螺孔为一个，设于与所述用于安装样品托的螺孔相对侧面的钢基块上；用于安装钉型样品台的螺孔与钢基块上表面的插孔连通。

进一步，用于安装样品托的螺孔的直径小于用于安装钉型样品台的螺孔的直径。

进一步，所述钢基块采用具有磁性的45钢材料。

本实用新型的效果在于：用机械固定方式代替以往的胶粘，可以方便地将样品在纳米压痕仪和电子显微镜(扫描电子显微镜，透射电子显微镜和聚焦离子束切割设备)之间转移，且在转移样品过程中不用直接接触样品，同时减少了胶粘次数，可极大程度的避免样品污染和损坏，提高了实验的便捷性和安全性。

附图说明

图1为多功能样品台的结构示意图；

图2(a)、图2(b)分别为多功能样品台背面结构示意图和固定扫描电镜样品台用的螺栓示意图；