[实用新型]筒状进气装置及镀膜设备

权利要求书

1.一种筒状进气装置，其特征在于，包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32)，其中，在所述内筒体(31)中设置有至少一组出气组，每组所述出气组包括多个出气孔(311)；

还包括匀气结构，所述匀气结构设置在所述外筒体(32)的内周壁与所述内筒体(31)的外周壁之间，且包括至少一条匀气通道，所述匀气通道的数量与所述出气组的数量相同，且一一对应地设置；所述匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212)，各个所述出气端(3212)和相应的所述出气组中的各个所述出气孔(311)一一对应地连通；并且，所述匀气通道被设置为所述进气端(3211)与各个所述出气端(3212)之间的通道距离一致；

在所述外筒体(32)中还设置有用于向各个所述匀气通道输送气体的进气通道(322)。

2.根据权利要求1所述的筒状进气装置，其特征在于，在所述外筒体(32)的内周壁上设置有至少一条第一匀气流道(321)，所述第一匀气流道(321)与所述内筒体(31)的外周壁贴合形成闭合的所述匀气通道；

每个所述出气孔(311)为沿所述内筒体(31)的径向贯通所述内筒体(31)的通孔。

3.根据权利要求1或2所述的筒状进气装置，其特征在于，在所述内筒体(31)的轴向上，各个相邻的两个所述出气孔(311)之间的中心距相同；并且，在所述内筒体(31)的圆周方向上，各个相邻的两个所述出气孔(311)之间的中心距相同。

4.根据权利要求1或2所述的筒状进气装置，其特征在于，所述匀气通道包括沿进气方向依次设置的多级分支，其中，下一级所述分支和与之相邻的上一级所述分支串联，且同一级所述分支并联，并且下一级所述分支的数量是与之相邻的上一级所述分支的数量的两倍。

5.根据权利要求4所述的筒状进气装置，其特征在于，下一级所述分支和与之相邻的上一级所述分支相互垂直。

6.根据权利要求4所述的筒状进气装置，其特征在于，第一级所述分支沿所述外筒体(32)的圆周方向设置，且与所述外筒体(32)的径向截面相互平行。

7.根据权利要求或2所述的筒状进气装置，其特征在于，所述内筒体(31)为多个，且沿所述内筒体(31)的轴向首尾贴合；所述外筒体(32)的数量与所述内筒体(31)的数量相同，且一一对应地设置。

8.根据权利要求1所述的筒状进气装置，其特征在于，所述外筒体(32)的轴向长度是所述外筒体(32)的内径的π倍。

9.一种镀膜设备，包括反应腔体(1)、设置在所述反应腔体(1)中的进气管(2)、设置在所述反应腔体(1)内侧，且与所述进气管(2)连接的筒状进气装置(3)、设置在所述筒状进气装置(3)内侧的气体喷淋筒(4)、设置在所述气体喷淋筒(4)内侧的筒状载台(5)，其特征在于，所述筒状进气装置(3)采用权利要求1-8任意一项所述的筒状进气装置。

10.根据权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，所述内筒体(31)为多个，且沿所述内筒体(31)的轴向首尾贴合，并且不同的所述内筒体(31)对应所述气体喷淋筒(4)的轴向上的不同区域设置；所述外筒体(32)的数量与所述内筒体(31)的数量相同，且一一对应地设置；

所述进气管(2)的数量与所述外筒体(32)的数量相同，且各个所述进气管(2)一一对应地与各个所述进气通道(322)连通。