[实用新型]一种酸性蚀刻液回收再生装置

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液回收再生装置，其特征在于，包括通过连接管道顺次连接的蚀刻机、用于收集所述蚀刻机产生的蚀刻废液的废液收集装置、用于对蚀刻废液电解处理的电解装置、用于回收所述电解装置进行电解处理后产生的酸性蚀刻再生液的蚀刻液再生装置；

所述废液收集装置包括废液收集罐、废液储存罐；所述废液收集罐的一端和所述蚀刻机连接，废液收集罐的另一端和所述废液储存罐连接；

所述电解装置包括多组电解槽；所述电解槽内的负极槽和所述废液储存罐连接；

所述蚀刻液再生装置包括用于蚀刻再生液氯气交换的氯气交换缸、用于储存经过氯气交换后的蚀刻再生液的再生液储罐；所述氯气交换缸的一端与所述电解槽的正极槽连接，氯气交换缸的另一端与所述再生液储罐连接。

2.如权利要求1所述的酸性蚀刻液回收再生装置，其特征在于，所述蚀刻液再生装置还包括多级溶气缸，所述多级溶气缸与所述氯气交换缸连接。

3.如权利要求2所述的酸性蚀刻液回收再生装置，其特征在于，该酸性蚀刻液回收再生装置还包括用于处理所述电解装置产生的尾气的废气塔。

4.如权利要求1所述的酸性蚀刻液回收再生装置，其特征在于，所述氯气交换缸包括缸体、竖直固定在所述缸体内部的射流器，所述射流器和所述正极槽连接，所述射流器顶部设有进液管和进气管，射流器底部设有出液管；氯气交换缸还包括喷淋管，所述喷淋管和所述射流器进液管口连接，所述喷淋管一侧管壁设有若干喷嘴。

5.如权利要求4所述的酸性蚀刻液回收再生装置，其特征在于，所述缸体顶部还设有氯气排气口。

6.如权利要求4所述的酸性蚀刻液回收再生装置，其特征在于，所述进液管口设有用于控制液体流量的定量计。

7.如权利要求1所述的酸性蚀刻液回收再生装置，其特征在于，所述氯气交换缸的缸体内部横向间隔设置有若干网格板。

8.如权利要求1所述的酸性蚀刻液回收再生装置，其特征在于，所述蚀刻液再生装置还包括用于蚀刻液再生液调配的蚀刻液调配装置，所述蚀刻液调配装置分别连接所述再生液储罐和所述蚀刻机。

9.如权利要求1所述的酸性蚀刻液回收再生装置，其特征在于，所述废液收集罐内设置有自动控制液位的液位感应器。