[实用新型]石墨盘组件

权利要求书

1.一种石墨盘组件，其特征在于，所述石墨盘组件包括：

石墨盘(10)，所述石墨盘(10)用于放置待加工件；

支撑架(20)，所述支撑架(20)包括多个支撑件，每个所述支撑件均与所述石墨盘(10)连接，所述支撑架(20)用于对所述石墨盘(10)进行支撑并驱动所述石墨盘(10)转动。

2.根据权利要求1所述的石墨盘组件，其特征在于，所述支撑架(20)包括第一支撑件(21)和第二支撑件(22)，所述第一支撑件(21)的一端与所述石墨盘(10)连接，所述第一支撑件(21)的另一端为驱动端，所述第二支撑件(22)的一端与所述第一支撑件(21)连接，所述第二支撑件(22)的另一端与所述石墨盘(10)连接。

3.根据权利要求2所述的石墨盘组件，其特征在于，所述支撑架(20)包括多个所述第二支撑件(22)，所述第一支撑件(21)对应设置在所述石墨盘(10)下表面的中心处，多个所述第二支撑件(22)沿所述第一支撑件(21)的外周间隔设置。

4.根据权利要求2所述的石墨盘组件，其特征在于，所述支撑架(20)还包括加强梁(23)，所述加强梁(23)的一端与所述第一支撑件(21)连接，所述加强梁(23)的另一端与所述第二支撑件(22)连接。

5.根据权利要求1所述的石墨盘组件，其特征在于，所述石墨盘组件还包括转接件(30)，所述支撑架(20)通过所述转接件(30)与所述石墨盘(10)连接。

6.根据权利要求5所述的石墨盘组件，其特征在于，所述石墨盘组件包括多个所述转接件(30)，所述石墨盘(10)的下表面设置有多个安装槽(12)，各所述转接件(30)分别设置于一所述安装槽(12)内，多个所述支撑件与多个所述转接件(30)一一对应连接。

7.根据权利要求5所述的石墨盘组件，其特征在于，所述转接件(30)为板状件，所述转接件(30)具有通孔(31)，所述支撑件的与所述石墨盘(10)连接的一端上设置有安装凸台(24)和支撑凸台(25)，所述支撑凸台(25)设置在所述支撑件的端面上，所述安装凸台(24)设置在所述支撑凸台(25)的远离所述支撑件的端面上，所述安装凸台(24)与所述通孔(31)连接，所述支撑凸台(25)的表面与所述转接件(30)的表面相抵接。

8.根据权利要求7所述的石墨盘组件，其特征在于，所述通孔(31)与所述安装凸台(24)为过盈配合连接，且所述通孔(31)的横截面形状和所述安装凸台(24)的横截面形状均为圆形。

9.根据权利要求6所述的石墨盘组件，其特征在于，所述安装槽(12)包括第一安装槽(121)和多个第二安装槽(122)，所述第一安装槽(121)设置在所述石墨盘(10)下表面的中心处，多个所述第二安装槽(122)相互间隔均匀分布在以所述石墨盘(10)下表面的中心为圆心且位于所述第一安装槽(121)外围的圆周上。

10.根据权利要求1所述的石墨盘组件，其特征在于，所述支撑架(20)由石英材料制成。