[实用新型]石墨盘组件

说明书

本实用新型提供了一种石墨盘组件，该石墨盘组件包括：石墨盘，石墨盘用于放置待加工件；支撑架，支撑架包括多个支撑件，每个支撑件均与石墨盘连接，支撑架用于对石墨盘进行支撑并驱动石墨盘转动。通过本申请提供的技术方案，能够解决现有技术中的石墨盘易损坏的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体外延生产设备技术领域，具体而言，涉及一种石墨盘组件。

背景技术

目前，在半导体外延工艺时使用的石墨盘大部分都采用旋转式，石墨盘下表面的中心处嵌有一个截面为方形的旋转件。将电机驱动轴通过旋转轴与旋转件驱动连接，能够使旋转轴驱动旋转件转动，进而可以利用旋转件将扭矩力传递至石墨盘，驱动石墨盘发生转动。

但是，在现有技术中，在采用上结构转动石墨盘时，石墨盘只存在一个支撑点，由于石墨盘本身的重量较大，采用旋转件驱动石墨盘转动时，石墨盘与旋转件之间的扭矩较大，石墨盘与旋转件的结合处易出现石墨盘表面镀层脱落的问题，严重的时候石墨盘会出现裂痕。其中，石墨盘表面镀层脱落或出现裂痕时，石墨盘无法继续使用，只能报废处理。因此，现有技术存在石墨盘易损坏的问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种石墨盘组件，以解决现有技术中的石墨盘易损坏的问题。

本实用新型提供了一种石墨盘组件，石墨盘组件包括：石墨盘，石墨盘用于放置待加工件；支撑架，支撑架包括多个支撑件，每个支撑件均与石墨盘连接，支撑架用于对石墨盘进行支撑并驱动石墨盘转动。

进一步地，支撑架包括第一支撑件和第二支撑件，第一支撑件的一端与石墨盘连接，第一支撑件的另一端为驱动端，第二支撑件的一端与第一支撑件连接，第二支撑件的另一端与石墨盘连接。

进一步地，支撑架包括多个第二支撑件，第一支撑件对应设置在石墨盘下表面的中心处，多个第二支撑件沿第一支撑件的外周间隔设置。

进一步地，支撑架还包括加强梁，加强梁的一端与第一支撑件连接，加强梁的另一端与第二支撑件连接。

进一步地，石墨盘组件还包括转接件，支撑架通过转接件与石墨盘连接。

进一步地，石墨盘组件包括多个转接件，石墨盘的下表面设置有多个安装槽，各转接件分别设置于一安装槽内，多个支撑件与多个转接件一一对应连接。

进一步地，转接件为板状件，转接件具有通孔，支撑件的与石墨盘连接的一端上设置有安装凸台和支撑凸台，支撑凸台设置在支撑件的端面上，安装凸台设置在支撑凸台的远离支撑件的端面上，安装凸台与通孔连接，支撑凸台的表面与转接件的表面相抵接。

进一步地，通孔与安装凸台为过盈配合连接，且通孔的横截面形状和安装凸台的横截面形状均为圆形。

进一步地，安装槽包括第一安装槽和多个第二安装槽，第一安装槽设置在石墨盘下表面的中心处，多个第二安装槽相互间隔均匀分布在以石墨盘下表面的中心为圆心且位于第一安装槽外围的圆周上。

进一步地，支撑架由石英材料制成。

应用本实用新型的技术方案，该石墨盘组件包括石墨盘和支撑架，支撑架用于对石墨盘进行支撑并驱动石墨盘转动。其中，石墨盘用于放置待加工件，支撑架包括多个支撑件。通过使每个支撑件均与石墨盘连接，能够利用多个支撑件同时对石墨盘进行支撑，可以将石墨盘自身重力分散至多个支撑件；当支撑架驱动石墨盘转动时，石墨盘所承受的来自支撑架的扭矩力可以分散至多个支撑件。采用上述结构，由于石墨盘的自身重力和所承受的扭矩力可分散至多个支撑件，从而能够避免石墨盘表面镀层出现脱落或石墨盘出现裂痕，进而可以提升石墨盘的使用寿命。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：