[实用新型]一种转塔式芯片编带机有效
申请号: | 201920841443.1 | 申请日: | 2019-06-05 |
公开(公告)号: | CN210338399U | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 李辉;王体;李俊强;陈俊安 | 申请(专利权)人: | 深圳市诺泰自动化设备有限公司 |
主分类号: | B65B15/04 | 分类号: | B65B15/04;B65B35/38 |
代理公司: | 深圳市中联专利代理有限公司 44274 | 代理人: | 李俊 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 塔式 芯片 编带机 | ||
本实用新型公开了一种转塔式芯片编带机,涉及芯片加工领域,包括上下料系统、校正补偿系统、取放系统、编带封合系统和检测系统;其中,上下料系统,用于运送装载了芯片的晶圆盘至指定位置,以及将空置的晶圆盘复位,以便装载芯片;校正补偿系统,用于抓取晶圆盘,并微调晶圆盘的位置;取放系统,用于拾取和运送晶圆盘上的芯片,进行芯片位置的转移;编带封合系统,接收来自取放系统运送的芯片,进行编带封装;检测系统,用于筛选出芯片中的良品和不良品,并剔除其中的不良品芯片,本实用新型采用多摆臂、多吸嘴结构,能够从蓝膜的晶圆盘中连续精准的取晶,同时精准的放入载带进行编带封装,实现芯片高速空间转移的高速贴片,大大节省人力。
技术领域
本实用新型涉及芯片加工领域,具体涉及一种转塔式芯片编带机。
背景技术
传统的固晶机类设备,采用单摆臂、单吸嘴结构,由于设备机械结构限制,其运行精度,无法将拾取的芯片转移至进行编带封装;然而,常规的编带机由于机械结构与制造工艺限制,又无法做到对芯片类产品的抓取。随着半导体芯片 (LED)类的发展,以及国家对半导体产业的大力支持,因此市场对半导体芯片(LED) 类封装类设备的需求日益增长,同时芯片(LED)外型越来越小型化或超小型化,这就诞生了一些对芯片类进行编带封装的产品,其生产工艺要求的高速度、高精度、高可靠性。一些企业人工转移的方式生产,其精度与效率底下,且为下一道封装工序带来困难,影响封装质量。只能应用于一些精度、速度要求不高的设备,但是不能满足高速度、高精度、高可靠性的芯片封装产品制造艺要求了;然而,国外进口的设备价格昂贵,对中小企业前期投资大,严重的制约了中小企业的发展。
实用新型内容
根据以上现有技术的不足,本实用新型所要解决的技术问题是提出一种转塔式芯片编带机,采用多摆臂、多吸嘴结构,与DDR系列直驱电机结合的转塔式芯片编带机,能够从蓝膜的晶圆盘中连续精准的取晶,同时精准的放入载带进行编带封装,实现芯片高速空间转移的高速贴片,大大节省人力。
一种转塔式芯片编带机,包括上下料系统、校正补偿系统、取放系统、编带封合系统和检测系统;
其中,所述上下料系统,用于运送装载了芯片的晶圆盘至指定位置,以及将空置的晶圆盘复位,以便装载芯片;
所述校正补偿系统,用于抓取所述晶圆盘,并微调晶圆盘的位置;
所述取放系统,用于拾取和运送晶圆盘上的芯片,进行芯片位置的转移;
所述编带封合系统,接收来自取放系统运送的芯片,进行编带封装;
检测系统,用于筛选出芯片中的良品和不良品,并剔除其中的不良品芯片。
可选的,所述上下料系统包括晶圆盘提篮升降装置,所述晶圆盘提篮升降装置包括晶圆盘提篮、支撑载台、张紧装置、升降基座和升降驱动装置,所述升降基座上设有所述升降驱动装置,升降驱动装置包括第一驱动电机、第一同步带和传动丝杆,所述第一驱动电机的输出轴驱动连接有第一主动轮,所述第一主动轮通过所述第一同步带传动连接第一从动轮,所述第一从动轮与所述传动丝杆固定连接,传动丝杆上螺纹连接有传动丝杆螺母,所述传动丝杆螺母固定连接有滑板,所述滑板与所述支撑载台固定连接,所述晶圆盘提篮设置在支撑载台的上端面上,支撑载台的一端设有所述张紧装置。
可选的,所述校正补偿系统包括晶圆补偿装置、自校正顶针装置和晶圆盘抓取搬运装置,其中;
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