[实用新型]滤光片

权利要求书

1.一种滤光片，其特征在于，所述滤光片包括基底和设置在所述基底的第一面外侧的第一膜系，所述第一膜系包括高折射率膜层、低折射率膜层和匹配膜层；

所述匹配膜层的材料包括氮掺杂硅锗混合物，

在780nm至3000nm波长范围内，所述高折射率膜层的折射率大于所述低折射率膜层的折射率，所述匹配膜层的折射率不等于其相邻的膜层的折射率。

2.根据权利要求1所述的滤光片，其特征在于，对应780nm至1200nm波长范围，所述滤光片具有通带，当光线的入射角由0°变为30°时，所述通带的中心波长的漂移量不大于16nm。

3.根据权利要求2所述的滤光片，其特征在于，所述滤光片的通带具有对应p光的中心波长和对应s光的中心波长，当光线的入射角为30°时，对应p光的中心波长与对应s光的中心波长之间的漂移不大于5nm。

4.根据权利要求2所述的滤光片，其特征在于，所述滤光片的通带的平均透过率不小于93％。

5.根据权利要求1所述的滤光片，其特征在于，对应780nm至1200nm波长范围内，所述高折射率膜层的折射率大于3，所述低折射率膜层的折射率小于3，所述匹配膜层的折射率位于1.7至4.5之间。

6.根据权利要求1所述的滤光片，其特征在于，所述基底还包括与所述第一面背对的第二面，所述滤光片还包括设置在所述基底的第二面外侧的第二膜系；

所述第二膜系为长波通膜系或宽带通膜系，所述第一膜系为窄带通膜系；所述第二膜系的通带覆盖所述第一膜系的通带。

7.根据权利要求6所述的滤光片，其特征在于，所述第一膜系的厚度和所述第二膜系的厚度之和小于12μm。

8.根据权利要求6所述的滤光片，其特征在于，所述第二膜系为长波通膜系，对应350nm至1200nm波长范围内，所述窄带通膜系具有通带，所述长波通膜系具有通带和截止带，所述长波通膜系的通带覆盖所述窄带通膜系的通带；

所述长波通膜系的截止带的截止度不低于所述窄带通膜系的对应波段的截止度。

9.根据权利要求6所述的滤光片，其特征在于，所述第二膜系为宽带通膜系，对应780nm至1200nm波长范围，所述窄带通膜系具有通带，所述宽带通膜系具有通带，所述宽带通膜系的通带覆盖所述窄带通膜系的通带；

对应小于780nm的波长范围，所述宽带通膜系的平均截止度不低于所述窄带通膜系的平均截止度。

10.根据权利要求6所述的滤光片，其特征在于，沿背离所述基底的方向，所述第一膜系的结构形式为以下结构形式中的一种：

(L₃-L₁-L₃-L₂)^s-L₃-L₁；

(L₁-L₃)²-(L₂-L₃-L₁-L₃)^s-L₁-L₃；

(L₁-L₃)^s–(L₂-(L₁-L₃)^p-L₁-L₂)^q-(L₁-L₃)^rL₁；

(L₃-L₁)^s–(L₂-(L₁-L₃)^p-L₁-L₂)^q-(L₃-L₁)^rL₃-L₁-(L₂-(L₁-L₃)^t-L₁-L₂)ⁿ；

(L₃-L₁)^s–(L₃-L₁)^rL₃-(L₂-(L₁-L₃)^p-L₁-L₂)^q-(L₃-L₁)^rL₃-(L₂-(L₁-L₃)^t-L₁-L₂)ⁿ-(L₃-L₁)^r，

所述第一膜系的结构形式中，L₁代表高折射率膜层，L₃代表第一低折射率膜层，L₂代表匹配膜层，p、q、r、s代表括号内的结构形式重复的次数，p、q、r、s为大于或等于0的整数。