[实用新型]一种炉管及LPCVD设备

权利要求书

1.一种炉管，包括管体(1)，所述管体(1)的一端为炉口(9)，另一端为炉尾，其特征在于，所述管体(1)内设置有若干进气管，所述进气管包括至少一个炉尾进气管(2)和若干炉口进气管(3)，所述炉尾进气管(2)从所述管体(1)的炉尾沿平行于所述管体(1)的中心轴线的方向延伸至所述管体(1)的中部，所述炉口进气管(3)从所述管体(1)的炉口(9)沿平行于所述管体(1)的中心轴线的方向延伸至所述管体(1)的中部；

若干所述炉口进气管(3)以所述管体(1)的中心轴线为中心呈环形均匀分布，若干所述炉口进气管(3)的长度沿一方向依次递减，所述炉尾进气管(2)的悬置端与最短的所述炉口进气管(3)的悬置端靠近；

所述炉口进气管(3)沿其长度方向设置有若干炉口出气孔(30)，所述炉口出气孔(30)包括第一孔(301)和第二孔(302)，所述第一孔(301)的孔径大于所述第二孔(302)的孔径，所述第一孔(301)和所述第二孔(302)交叉设置；

所述炉尾进气管(2)沿其长度方向设有若干炉尾出气孔(21)，所述炉尾出气孔(21)的孔径沿着所述炉尾至所述炉口(9)的方向依次减小。

2.根据权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述第一孔(301)的孔径为所述第二孔(302)的孔径的1.2-1.5倍，所述第一孔(301)的孔径为2-4mm。

3.根据权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述炉口进气管(3)上相邻的所述第一孔(301)和所述第二孔(302)之间的中心距离为25-35mm。

4.根据权利要求1所述的炉管，其特征在于，设定第i个所述炉口进气管(3)的长度为S，则

其中，i＝1、2、3…N，L为管体(1)的长度，N为所述炉口进气管(3)的个数。

5.根据权利要求4所述的炉管，其特征在于，所述炉口进气管(3)有四个，四个所述炉口进气管(3)的长度分别为5/7L、4/7L、3/7L、2/7L。

6.根据权利要求4所述的炉管，其特征在于，所述炉尾进气管(2)的长度为S0，则5/7×(1-0.1)L≤S0≤5/7×(1+0.1)L。

7.根据权利要求1所述的炉管，其特征在于，相邻两个所述炉尾出气孔(21)之间的中心距离沿着所述炉尾至所述炉口(9)的方向依次增大。

8.根据权利要求1-7任一项所述的炉管，其特征在于，所述管体(1)内可拆卸连接有内环(6)，所述管体(1)和所述内环(6)之间形成环形空腔(7)，所述进气管均设置于所述空腔(7)中，所述内环(6)的表面开设有若干内环出气孔(61)，所述内环出气孔(61)的孔径沿所述炉口(9)至所述炉尾的方向依次增大。

9.根据权利要求8所述的炉管，其特征在于，所述炉口进气管(3)和所述炉尾进气管(2)的中心轴线分别与所述管体(1)的内壁之间的间距为15-35mm，所述炉口进气管(3)和所述炉尾进气管(2)的中心轴线与所述管体(1)的内壁之间的距离均小于所述炉口进气管(3)和所述炉尾进气管(2)的中心轴线与所述内环(6)之间的距离。

10.一种LPCVD设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的炉管。