[实用新型]一种膜片移载作业机构

说明书

本实用新型公开了一种膜片移载作业机构，包括底座、移载单元、作业平台和托举单元；所述移载单元包括设置在底座上的移载驱动源，所述移载驱动源的自由端设置有平台底座；所述作业平台包括设置在平台底座上的两条分立的平台支架，所述平台支架上设置有夹板驱动源和平行于平台支架的下夹板，所述夹板驱动源的自由端设置有上夹板，所述上夹板位于下夹板上方；所述托举单元包括设置在平台底座上的托举驱动源，所述托举驱动源的自由端设置有托举平台，所述托举平台位于两个平台支架之间。其能够为膜片提供良好的保护，晶粒水平度高，可靠性强，作业品质高。

技术领域

本实用新型涉及移载机构，具体涉及一种膜片移载作业机构。

背景技术

半导体器件在生产作业过程中，通常需要将晶粒整齐的排列在膜片上，以进行高效的批量作业。但半导体器件因其电路极其细微，在滑动摩擦产生的强静电的作用下，很容易造成击穿。但在作业时，为保证作业的品质，又要求晶粒全部处于同一平面上。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种膜片移载作业机构，其能够为膜片提供良好的保护，晶粒水平度高，可靠性强，作业品质高。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种膜片移载作业机构，包括底座、移载单元、作业平台和托举单元；所述移载单元包括设置在底座上的移载驱动源，所述移载驱动源的自由端设置有平台底座；所述作业平台包括设置在平台底座上的两条分立的平台支架，所述平台支架上设置有夹板驱动源和平行于平台支架的下夹板，所述夹板驱动源的自由端设置有上夹板，所述上夹板位于下夹板上方；所述托举单元包括设置在平台底座上的托举驱动源，所述托举驱动源的自由端设置有托举平台，所述托举平台位于两个平台支架之间。

作为优选的，包括横移单元，所述横移单元包括横移滑轨、固定板和固定销，所述横移滑轨和固定板均沿垂直于上夹板的方向设置在平台底座上，其中一个平台支架设置在横移滑轨上，所述固定板上沿横移滑轨的方向设置有多个销孔，所述固定销设置在位于横移滑轨上的平台支架上，所述固定销插在一个销孔内。

作为优选的，所述横移滑轨上的平台支架上设置有球头弹簧柱塞，所述固定板上沿横移滑轨的方向开设有多个塞孔，所述球头弹簧柱塞的球头卡嵌在一个塞孔内。

作为优选的，所述横移滑轨上的平台支架上设置有横移感应片，所述平台底座上设置有与横移感应片配合的横移传感器。

作为优选的，所述下夹板包括由内而外依次设置的下夹板一和下夹板二，所述下夹板二的厚度小于下夹板一的厚度，所述上夹板位于下夹板二的上方。

作为优选的，所述上夹板和下夹板二的端面分别设置有上夹板导向面和下夹板导向面。

作为优选的，所述夹板驱动源的自由端设置有夹板支架，所述上夹板设置在夹板支架上，所述夹板支架上设置有夹板滑杆，所述平台支架上设置有夹板滑套，所述夹板滑杆滑动设置在夹板滑套内。

作为优选的，所述平台底座上设置有托举支架，所述托举支架上沿竖直方向设置有至少两个托举传感器，所述托举平台的底部设置有与托举传感器配合的托举感应片。

作为优选的，所述托举传感器有两个。

作为优选的，所述底座上设置有移载滑轨，所述平台底座设置在移载滑轨上，并与移载驱动源的自由端连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过设置作业平台，能够在上下膜片时保持膜片悬空，避免摩擦产生的静电击穿膜片上的晶粒，提高了作业品质；同时能够将膜片牢固的固定，提高了作业可靠性。

2、本实用新型通过设置托举单元，能够在作业时将膜片的悬空部分托起，使整张膜片保持在同一平面上，提高了作业品质。