[实用新型]一种半导体制造用的机械手臂

权利要求书

1.一种半导体制造用的机械手臂，其特征在于：其结构包括半导体制造机械手(1)、转轴(2)、可移动升降装置(3)、固定底座(4)、机械臂(5)，所述半导体制造机械手(1)下端与转轴(2)上端相连接，所述可移动升降装置(3)上端与固定底座(4)下端相焊接，所述机械臂(5)外侧与固定底座(4)内侧相连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用的机械手臂，其特征在于：所述可移动升降装置(3)由支撑板(A)、气缸装置(B)、轴杆(C)、转轮(D)、轴架(E)、卡块(F)、滑动槽(G)、安装块(H)、滚轮(I)、底座(Z)、中心转轴(K)、剪叉架(L)组成，所述支撑板(A)下端与剪叉架(L)上端相连接，所述气缸装置(B)外侧与底座(Z)内侧相连接，所述轴杆(C)上端与底座(Z)下端相焊接，所述转轮(D)轴心与轴架(E)下端相连接，所述轴架(E)上端与轴杆(C)下端相连接，所述卡块(F)左端嵌入安装于轴架(E)内，所述滑动槽(G)与底座(Z)为一体化结构，所述安装块(H)下端与滚轮(I)轴心相连接，所述滚轮(I)嵌入安装于滑动槽(G)内，所述中心转轴(K)轴心与剪叉架(L)外侧相连接，所述剪叉架(L)下端与安装块(H)上端相连接，所述气缸装置(B)由活塞杆(M)、缸筒(N)、活塞(O)、缓冲密封垫(P)、罩壳(Q)、缓冲针阀(R)、磁石(S)、含油滑动轴套(T)组成，所述活塞杆(M)与缸筒(N)处于同一轴线，所述缸筒(N)与罩壳(Q)为一体化结构，所述活塞(O)与活塞杆(M)处于同一轴线，所述缓冲密封垫(P)内侧与活塞杆(M)外侧相贴合，所述罩壳(Q)下端贯穿有缓冲针阀(R)，所述磁石(S)嵌入安装于活塞(O)内，所述含油滑动轴套(T)上贯穿有活塞杆(M)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造用的机械手臂，其特征在于：所述转轴(2)下端嵌入安装于机械臂(5)内。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制造用的机械手臂，其特征在于：所述固定底座(4)下端与支撑板(A)上端相焊接。