[实用新型]一种半导体制造用的机械手臂

说明书

本实用新型公开了一种半导体制造用的机械手臂，其结构包括半导体制造机械手、转轴、可移动升降装置、固定底座、机械臂，所述半导体制造机械手下端与转轴上端相连接，本实用新型一种半导体制造用的机械手臂，本实用新型一种半导体制造用的机械手臂，结构上使用气缸作为动力，利用缓冲针阀输入压缩空气时到无杆腔，这时有杆腔排气，气缸的两腔会产生压力差，将会作用在活塞上形成的力推动活塞运动，使得活塞杆伸出，使得剪叉架根据转轴相连两侧向内内侧靠近逐渐立起以此来提升高度，推起支撑板从而将设备高度抬高，从而能根据不同的工作环境来调整设备的高度进行匹配工作，调整便捷，省时省力。

技术领域

本实用新型是一种半导体制造用的机械手臂，属于机械手臂技术领域。

背景技术

机械手臂是机械人技术领域中得到最广泛实际应用的自动化机械装置，在工业制造、医学治疗、娱乐服务、军事、半导体制造以及太空探索等领域都能见到它的身影，尽管它们的形态各有不同，但它们都有一个共同的特点，就是能够接受指令，精确地定位到三维或二维间上的某一点进行作业。

现有技术公开了申请号为：CN201721411663，8的一种半导体制造用的机械手臂，包括机械手臂主支撑杆，机械手臂主连接杆和机械手臂连接凹槽，所述机械手臂主支撑杆的底端设置有机械手臂连接块，所述机械手臂连接旋转轴的端部设置有机械手臂主连接杆，所述机械手臂主连接杆的端部设置有机械手臂操作杆，所述机械手臂主支撑杆的表面设置有机械手臂主连接杆放置凹槽，但是该现有技术对于半导体制造用的机械手臂应对不同高度，与不同位置的工作环境下需要调整设备的高度，移动位置来匹配相应的工作，较于费时费力。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种半导体制造用的机械手臂，以解决现有技术对于半导体制造用的机械手臂应对不同高度，与不同位置的工作环境下需要调整设备的高度，移动位置来匹配相应的工作，较于费时费力的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种半导体制造用的机械手臂，其结构包括半导体制造机械手、转轴、可移动升降装置、固定底座、机械臂，所述半导体制造机械手下端与转轴上端相连接，所述可移动升降装置上端与固定底座下端相焊接，所述机械臂外侧与固定底座内侧相连接。

进一步地，所述可移动升降装置由支撑板、气缸装置、轴杆、转轮、轴架、卡块、滑动槽、安装块、滚轮、底座、中心转轴、剪叉架组成，所述支撑板下端与剪叉架上端相连接，所述气缸装置外侧与底座内侧相连接，所述轴杆上端与底座下端相焊接，所述转轮轴心与轴架下端相连接，所述轴架上端与轴杆下端相连接，所述卡块左端嵌入安装于轴架内，所述滑动槽与底座为一体化结构，所述安装块下端与滚轮轴心相连接，所述滚轮嵌入安装于滑动槽内，所述中心转轴轴心与剪叉架外侧相连接，所述剪叉架下端与安装块上端相连接，所述气缸装置由活塞杆、缸筒、活塞、缓冲密封垫、罩壳、缓冲针阀、磁石、含油滑动轴套组成，所述活塞杆与缸筒处于同一轴线，所述缸筒与罩壳为一体化结构，所述活塞与活塞杆处于同一轴线，所述缓冲密封垫内侧与活塞杆外侧相贴合，所述罩壳下端贯穿有缓冲针阀，所述磁石嵌入安装于活塞内，所述含油滑动轴套上贯穿有活塞杆。

进一步地，所述转轴下端嵌入安装于机械臂内。

进一步地，所述固定底座下端与支撑板上端相焊接。

进一步地，所述支撑板由不锈钢制成，具有较好的耐腐蚀性。

进一步地，所述活塞杆由钢制成，具有较好的硬度。

有益效果