[实用新型]气体快速加热装置

权利要求书

1.一种气体快速加热装置，其特征在于，包括：

密闭的腔体；

管路，所述管路设置在所述腔体内，且所述管路包括第一支路和第二支路；

所述第二支路远离所述第一支路设置，所述第一支路的进气端与所述腔体外的反应源连通，所述第一支路的出气端与所述腔体外的工艺腔室连通；

所述第二支路的进气端封闭，所述第二支路的出气端与所述第一支路的出气端连通；

加热棒，所述加热棒设置在所述腔体内，且所述加热棒设置在所述第一支路与所述第二支路围成空间内，所述加热棒用于加热所述第一支路和所述第二支路内的气体；

保温层，所述保温层设置在所述腔体内壁上，且所述保温层用于对所述第一支路和所述第二支路的气体保温。

2.根据权利要求1中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述第一支路与所述第二支路围成U形，所述加热棒设置在所述第一支路与所述第二支路围成U形内。

3.根据权利要求2中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述管路还包括第三支路，所述第三支路一端与所述第一支路的出气端连通，所述第三支路的另一端与所述腔体外的工艺腔室连通。

4.根据权利要求3中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述第三支路设置在所述第一支路与所述第二支路中间，且所述第三支路远离所述加热棒设置。

5.根据权利要求4中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述第一支路还包括气体流通段，所述气体流通段设置在所述第一支路的进气端与所述第一支路的出气端之间；

且所述气体流通段的气体流通面积大于所述第一支路的出气端803的气体流通面积；

和\或,所述第二支路还包括气体平流段，所述气体平流段设置在所述第二支路的进气端与所述第二支路的出气端之间；

且所述气体平流段的气体流通面积大于所述第二支路的出气端的气体流通面积。

6.根据权利要求5中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述加热棒设置在所述气体流通段与所述气体平流段之间；

所述气体流动段与所述气体平流段均为直通管道；

所述第一支路的出气端与所述第二支路端均设置在所述加热棒的一端，所述第一支路的出气端的气体向所述加热棒的圆心方向流动，所述第二支路的出气端的气体也向所述加热棒的圆心方向流动；

所述第一支路的出气端和所述第二支路的出气端均为直通管道。

7.根据权利要求1中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述气体快速加热装置还包括温度传感器，所述温度传感器与所述加热棒连接，用于获得所述加热棒的温度。

8.根据权利要求7中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述温度传感器为热电偶。

9.根据权利要求7中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述加热棒通过导电线与外部电源电连接。

10.根据权利要求7中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述气体快速加热装置还包括控制装置，所述控制装置与所述温度传感器通信连接，所述控制装置与所述加热棒连接，所述控制装置用于根据所述温度传感器获得的温度调整所述加热棒的加热功率。