[实用新型]气体快速加热装置

说明书

本实用新型是关于一种气体快速加热装置，包括：密闭的腔体；管路设置在所述腔体内，且所述管路包括第一支路和第二支路；所述第二支路远离所述第一支路设置，所述第一支路的进气端反应源连通，所述第一支路的出气端与所述腔体外的工艺腔室连通；所述第二支路的进气端封闭，所述第二支路的出气端与所述第一支路的出气端连通；加热棒，所述加热棒设置在所述腔体内，且所述加热棒设置在所述第一支路与所述第二支路围成空间内；保温层，设置在所述腔体内壁上，且所述保温层用于对所述第一支路和所述第二支路的气体保温。本实用新型提供的气体快速加热装置，避免了反应物在从反应源到工艺室的管路中冷凝。

技术领域

本实用新型涉及一种辅助加热装置领域，特别是涉及一种气体快速加热装置。

背景技术

化学气相沉积(CVD)可用于太阳能薄膜电池生产，在沉积太阳能薄膜电池时，需要向CVD设备工艺腔中通入气态反应物，而当反应物的反应源为固态或者液态时，需要对反应源进行加热，保证反应物以气体形式参与反应。实际应用中，一般是将从反应源到工艺腔室之间的全部管路外侧缠绕加热丝，如(图1)所示，管路内部为气化的反应物，外侧手工缠绕加热丝。而这样的加热方式，管路的受热较小，反应物在管路内的温度较低，反应物在接近工艺室过程中，工艺室的冷空气会使得反应物冷凝。而若加热丝的加热功率较高时，管路内的反应物温度较高后可能会使得反应物发生化学或物理反应。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种气体快速加热装置，避免了反应物在从反应源到工艺室的管路中冷凝。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：一种气体快速加热装置，

包括：

密闭的腔体；

管路，所述管路设置在所述腔体内，且所述管路包括第一支路和第二支路；

所述第二支路远离所述第一支路设置，所述第一支路的进气端与所述腔体外的反应源连通，所述第一支路的出气端与所述腔体外的工艺腔室连通；

所述第二支路的进气端封闭，所述第二支路的出气端与所述第一支路的出气端连通；

加热棒，所述加热棒设置在所述腔体内，且所述加热棒设置在所述第一支路与所述第二支路围成空间内，所述加热棒用于加热所述第一支路和所述第二支路内的气体；

保温层，所述保温层设置在所述腔体内壁上，且所述保温层用于对所述第一支路和所述第二支路的气体保温。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型提供的气体快速加热装置，当反应源的气体流入第一支路内后，第一支路内的气体经过第一支路的出气端进入到第二支路内，因加热棒设置在第一支路与第二支路围成空间内，从而提高了管路的受热面积，管路内气体的温度升高较快，实现了快速对管路内气体的加热。当加热棒对第一支路内和第二支路内的气体加热后，加热后的气体直接进入工艺腔室内，避免了气体冷凝。因为保温层对第一支路和第二支路内的气体具有隔热效果，进一步避免第一支路和第二支路的热量过多散而冷凝。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

图1是现有技术的气体加热装置结构示意图；

图2是本实用新型的实施例提供的气体快速加热装置的第一视角的结构示意图；

图3是本实用新型的实施例提供的气体快速加热装置的第二视角的结构示意图；

图4是本实用新型的实施例提供的气体快速加热装置的管路11结构示意图；

图中: