[实用新型]一种光刻板有效

专利信息
申请号: 201920861864.0 申请日: 2019-06-10
公开(公告)号: CN209962088U 公开(公告)日: 2020-01-17
发明(设计)人: 张轶;刘世光;李春领 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: G03F1/60 分类号: G03F1/60
代理公司: 11010 工业和信息化部电子专利中心 代理人: 张然
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 光刻板 子板 本实用新型 光刻图形 母板 光刻工艺 有效解决 光刻机 把持
【权利要求书】:

1.一种光刻板,其特征在于,包括:母板和子板;

所述母板,用于供操作者进行把持;

所述子板的底面与所述母板连接,所述子板的顶面设有光刻图形,所述子板的厚度高于芯片表面的边角堆胶的高度;

通过所述母板和所述子板使光线垂直透过所述光刻板。

2.根据权利要求1所述的光刻板,其特征在于,

所述子板为立方体结构。

3.根据权利要求1所述的光刻板,其特征在于,

所述子板为金字塔形,金字塔的顶面设有光刻图形,金字塔的底面与所述母板连接。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的光刻板,其特征在于,

所述母板的面积大于所述芯片的面积。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的光刻板,其特征在于,

所述母板面积大于所述子板的面积。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的光刻板,其特征在于,

所述芯片为以下任一种芯片:硅芯片、碲化镉芯片和碲镉汞芯片。

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