[实用新型]一种加热器固定装置有效
申请号: | 201920870279.7 | 申请日: | 2019-06-11 |
公开(公告)号: | CN210292860U | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 周思源 | 申请(专利权)人: | 量伙半导体设备(上海)有限公司 |
主分类号: | F27D11/00 | 分类号: | F27D11/00;F27D11/02;H01L21/324 |
代理公司: | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人: | 高爽 |
地址: | 201302 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 加热器 固定 装置 | ||
1.一种加热器固定装置,用于将所述加热器固定至热处理腔室侧壁的固定孔内,其特征在于,所述加热器固定装置包括固定板和支撑架,
所述固定板包括第一连接部和通孔;
所述第一连接部用于将所述固定板连接至所述热处理腔室的外侧壁,所述通孔贯穿所述固定板,且与所述固定孔的位置对应;
所述支撑架包括第二连接部和支撑双臂,所述第二连接部用于将所述支撑架连接在所述固定板上,所述支撑双臂与所述通孔对应设置;
所述加热器设置于所述固定孔中,所述加热器的末端从所述固定孔中伸出并穿过所述通孔,固定在所述支撑双臂内,使得所述加热器的外壁与所述固定孔的内壁之间设有缝隙。
2.根据权利要求1所述的加热器固定装置,其特征在于,所述第一连接部为相互配合的第一螺纹孔和第一螺栓,所述第二连接部为相互配合第二螺纹孔和第二螺栓。
3.根据权利要求1所述的加热器固定装置,其特征在于,所述通孔设有凸出部,所述凸出部与所述支撑双臂相对设置,所述加热器的末端从所述通孔的中间延伸出,并固定在所述凸出部与所述支撑双臂之间。
4.根据权利要求1所述的加热器固定装置,其特征在于,所述支撑架为片状挡板,所述支撑双臂为所述挡板上部的两个凸起,所述两个凸起的底部分离,顶部相互靠拢,形成顶端开口的倒“V”形。
5.根据权利要求4所述的加热器固定装置,其特征在于,所述固定板设有第一表面和与第一表面相对的第二表面,所述第一表面连接于所述热处理腔室的外侧壁,所述第二表面为具有一个高度差的台阶状,所述台阶的高度与所述挡板的厚度一致,所述挡板连接于所述台阶下端的表面。
6.根据权利要求3所述的加热器固定装置,其特征在于,所述加热器为圆柱体,所述加热器包括加热器主体和连接加热器主体的加热器末端,所述加热器末端的直径小于所述加热器主体的直径,所述加热器末端设于所述凸出部与所述支撑双臂之间。
7.根据权利要求1所述的加热器固定装置,其特征在于,所述固定孔为多个,多个所述固定孔之间相互平行,每个所述固定孔中设有一个所述加热器,所述固定板上设有与所述固定孔对应的多个所述通孔,所述支撑架上设有与所述通孔对应的多个所述支撑双臂,每个所述加热器对应一个所述通孔和一个所述支撑双臂。
8.根据权利要求1所述的加热器固定装置,其特征在于,所述热处理腔室为矩形,所述固定板为矩形,所述固定孔贯穿于所述热处理腔室的两个相对侧面,所述固定板连接于所述热处理腔室的两个相应的外壁。
9.根据权利要求1所述的加热器固定装置,其特征在于,所述加热器为功率可调的热辐射灯管或热电阻丝,加热温度为500-1200摄氏度。
10.根据权利要求1所述的加热器固定装置,其特征在于,所述固定孔与所述热处理腔室的接触面为石英管壁,所述石英管壁与所述热处理腔室构成密封的腔体。
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