[实用新型]一种加热器固定装置

说明书

本实用新型公开了一种加热器固定装置，用于将加热器固定至热处理腔室侧壁的固定孔内，加热器固定装置包括固定板和支撑架，固定板包括第一连接部和通孔；第一连接部用于将固定板连接至热处理腔室的外侧壁，通孔贯穿固定板，且与固定孔的位置对应；支撑架包括第二连接部和支撑双臂，第二连接部用于将支撑架连接在固定板上，支撑双臂与通孔对应设置；加热器设置于固定孔中，加热器的末端从固定孔中伸出并穿过通孔，固定在支撑双臂内，使得加热器的外壁与固定孔的内壁之间设有缝隙。本实用新型的有益效果在于：加热器固定装置将加热器的末端支撑起，使加热器周围留用空隙，利于加热器的散热，延长加热器使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及加热设备领域，更具体地，涉及一种加热器固定装置。

背景技术

在半导体制造过程中，热处理是必要的，常用的热处理设备有立式炉、卧式炉、快速热处理。快速热处理(Rapid Thermal Processing，RTP)是指以极快的速度加热晶圆表面，以达到消除应力、退火等目的。为了保持工艺的稳定性需提供气密腔体或真空环境，将晶圆置于其中。气密腔体通过石英管与外界隔离，加热灯管辐射的灯光穿透石英管对气密腔体内的晶圆加热，通常加热灯管直接放置于石英管的底部，因底部没有散热空间，不利于散热，影响加热灯管的使用寿命。

因此，期待一种可以改善这种加热方式的结构，以利于散热。

实用新型内容

本实用新型的目的是提出一种加热器固定装置，将加热器的末端支撑起，使加热器周围留用空隙，利于加热器的散热，延长加热器使用寿命。为实现上述目的，本实用新型提出了一种加热器固定装置，用于将所述加热器固定至热处理腔室侧壁的固定孔内，所述加热器固定装置包括：固定板和支撑架，

所述固定板包括第一连接部和通孔；

所述第一连接部用于将所述固定板连接至所述热处理腔室的外侧壁，所述通孔贯穿所述固定板，且与所述固定孔的位置对应；

所述支撑架包括第二连接部和支撑双臂，所述第二连接部用于将所述支撑架连接在所述固定板上，所述支撑双臂与所述通孔对应设置；

所述加热器设置于所述固定孔中，所述加热器的末端从所述固定孔中伸出并穿过所述通孔，固定在所述支撑双臂内，使得所述加热器的外壁与所述固定孔的内壁之间设有缝隙。

作为优选方案，所述第一连接部为相互配合的第一螺纹孔和第一螺栓，所述第二连接部为相互配合第二螺纹孔和第二螺栓。

作为优选方案，所述通孔设有凸出部，所述凸出部与所述支撑双臂相对设置，所述加热器的末端固定在所述凸出部与所述支撑双臂之间。

作为优选方案，所述支撑架为片状挡板，所述支撑双臂为所述挡板上部的两个凸起，所述两个凸起的底部分离，顶部相互靠拢，形成顶端开口的倒“V”形。

作为优选方案，所述固定板设有第一表面和与第一表面相对的第二表面，所述第一表面连接于所述热处理腔室的外侧壁，所述第二表面为具有一个高度差的台阶状，所述台阶的高度与所述挡板的厚度一致，所述挡板连接于所述台阶下端的表面。

作为优选方案，所述加热器为圆柱体，所述加热器包括加热器主体和连接加热器主体的加热器末端，所述加热器末端的直径小于所述加热器主体的直径，所述加热器末端设于所述凸出部与所述支撑双臂之间。

作为优选方案，所述固定孔为多个，多个所述固定孔之间相互平行，每个所述固定孔中设有一个所述加热器，所述固定板上设有与所述固定孔对应的多个所述通孔，所述支撑架上设有与所述通孔对应的多个所述支撑双臂，每个所述加热器对应一个所述通孔和一个所述支撑双臂。

作为优选方案，所述热处理腔室为矩形，所述固定板为矩形，所述固定孔贯穿于所述热处理腔室的两个相对侧面，所述固定板连接于所述热处理腔室的两个相应的外壁。