[实用新型]一种热处理装置

说明书

本实用新型公开了一种热处理装置，包括热处理腔室、加热器和固定装置，热处理腔室包括上腔室和下腔室；上腔室的侧壁至少设有一组固定孔，加热器设置于固定孔中，加热器的末端从固定孔中伸出，并延伸至固定装置的外部；热处理对象位于下腔室中；固定装置连接于热处理腔室的外壁，用于将加热器固定在固定孔内。本实用新型的有益效果在于，加热器的双层设置，使热处理腔室内温度均匀，满足工艺需求，风冷组件和加热器固定装置利于加热器的散热，延长加热器使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及加热设备领域，更具体地，涉及一种热处理装置。

背景技术

在半导体制造过程中，热处理是必要的，常用的热处理设备有立式炉、卧式炉、快速热处理。快速热处理(Rapid Thermal Processing，RTP)是指以极快的速度加热晶圆表面，以达到消除应力、退火等目的。为了保持工艺的稳定性需提供气密腔室或真空环境，将晶圆置于其中，晶圆被放置在托盘中，加热温度通常为1000摄氏度左右，理想状态下，热处理对象附近的温度应该保持一致(温差小于0.5摄氏度)。

因此，期待一种热处理装置，满足加热工艺的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是提出一种热处理装置，可以满足热处理对象的均温需求。

为实现上述目的，本实用新型提出了一种热处理装置，包括：热处理腔室、加热器和固定装置，

所述热处理腔室包括上腔室和下腔室，所述加热器位于所述上腔室，热处理对象位于所述下腔室；

所述上腔室的侧壁至少设有一组固定孔，所述加热器设置于所述固定孔中，所述加热器的末端从所述固定孔中伸出，并延伸至所述固定装置的外部；

所述固定装置连接于所述热处理腔室的外壁，用于将所述加热器固定在所述固定孔内。

作为优选方案，还包括石英板，所述石英板位于所述上腔室和所述下腔室之间，所述下腔室顶部设有第一开口，所述石英板与所述第一开口密封连接，所述上腔室底部设有第二开口，所述第二开口与所述石英板密封连接。

作为优选方案，所述下腔室设有载台，用于承载热处理对象。

作为优选方案，还包括风冷组件，所述风冷组件连接于所述上腔室的外壁，所述风冷组件设有进气口和多个出气孔，所述出气孔轴线与所述固定孔轴线平行。

作为优选方案，还包括压力平衡管，所述压力平衡管连通于所述上腔室和所述下腔室的侧壁。

作为优选方案，所述上腔室为矩形，所述固定孔为直孔，每组所述直孔之间相互平行，所述直孔的两端与所述上腔室的两个相对侧面相通，或只与所述上腔室的一个侧面相通。

作为优选方案，所述上腔室设有多组所述固定孔，所述多组固定孔设置为单层或多层。

作为优选方案，多组所述固定孔设置为上下两层，下层设有多组所述固定孔，上层设有两组所述固定孔，上层所述两组固定孔在垂直方向上分别设置于下层所述固定孔的两端。

作为优选方案，所述加热器为功率可调的热辐射灯管。

作为优选方案，还包括控制电路，所述控制电路用于控制不同加热灯管的功率。

作为优选方案，还包括石英管，所述石英管的外壁与所述固定孔密封连接，所述热辐射灯管设置于所述石英管内。

本实用新型的有益效果在于：

1、加热器双层设置，使热处理腔室内温度均匀，满足工艺需求。

2、风冷组件和加热器固定装置利于加热器的散热，延长加热器使用寿命。