[实用新型]一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构有效
| 申请号： | 201920880783.5 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN210282347U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 梅华斌;刘文庆;邵晖 | 申请（专利权）人： | 无锡职业技术学院 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;B25J18/00;B65G47/91 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 冯智文 |
| 地址： | 214121 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 参数 测量仪 机器人 手臂 结构 | ||
1.一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，包括安装座(1)和安装板(2)，所述安装座(1)一侧安装有安装板(2)，其特征在于：所述安装板(2)一侧活动安装有一号转盘(3)，所述一号转盘(3)一侧固定安装有一号活动轴(4)，所述一号活动轴(4)内腔一端活动安装有一号连接臂(10)，所述一号连接臂(10)内腔一端安装有液压缸(6)，所述液压缸(6)一端安装有伸缩杆(7)，所述伸缩杆(7)一端固定连接有二号活动轴(5)，所述二号活动轴(5)一端安装有二号连接臂(11)，所述二号连接臂(11)底端安装有二号转盘(16)，所述二号转盘(16)底部表面安装有吸取头(12)，且吸取头(12)设有多组，所述吸取头(12)底部表面安装有真空吸盘(13)，所述二号活动轴(5)一侧安装有真空泵(8)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，其特征在于：所述真空泵(8)一端连接有气管(9)，且气管(9)另一端与真空吸盘(13)连接，所述气管(9)一侧安装有排气阀(17)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，其特征在于：所述一号活动轴(4)和二号活动轴(5)一端内腔均活动安装有转轴(18)，所述转轴(18)一端安装有二号电机(15)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，其特征在于：所述一号转盘(3)和二号转盘(16)一侧均安装有一号电机(14)。
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