[实用新型]一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构

说明书

本实用新型公开了一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，括安装座和安装板，所述安装座一侧安装有安装板，所述安装板一侧活动安装有一号转盘，所述一号转盘一侧固定安装有一号活动轴，所述一号活动轴内腔一端活动安装有一号连接臂，所述一号连接臂内腔一端安装有液压缸。本实用新型通过真空吸盘的的设置采用真空吸附晶圆片，这样使其避免传统机械手夹取会对晶圆片造成损伤，降低损失和成本，比较适合晶圆片较薄脆的物件进行夹取，二号转盘和多组吸取头的设置使其可以在一号电机的带动作用下进行转动使其调换不同的吸取头的位置，以便放置在测量装置上，这样一次性吸取多个物件进行轮换取放材料，提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及一种机器人手臂结构，特别涉及一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构。

背景技术

机械臂是高精度，高速机器手。对应小批量生产方式，提高生产效率。除点胶作业之外，可对应uv照射，零件放置，螺丝锁定，电路板切割等各种工作。

但是在现有的晶圆生产过程当中需要对晶圆片通过机器人进行测量，测量需要对晶圆片进行夹取但是传统的通过夹爪夹取的方式进行夹取，由于晶圆比较薄比较脆，所以夹取型的机械手容易导致晶圆片损坏，这样提高损坏率提高了成本，而且传统的只能一次性夹取一个，这样长期进行来回夹取运送降低了工作效率。为此，我们提出一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，通过真空吸盘的的设置采用真空吸附晶圆片，这样使其避免传统机械手夹取会对晶圆片造成损伤，降低损失和成本，比较适合晶圆片较薄脆的物件进行夹取，二号转盘和多组吸取头的设置使其可以在一号电机的带动作用下进行转动使其调换不同的吸取头的位置，以便放置在测量装置上，这样一次性吸取多个物件进行轮换取放材料，提高工作效率，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，包括安装座和安装板，所述安装座一侧安装有安装板，所述安装板一侧活动安装有一号转盘，所述一号转盘一侧固定安装有一号活动轴，所述一号活动轴内腔一端活动安装有一号连接臂，所述一号连接臂内腔一端安装有液压缸，所述液压缸一端安装有伸缩杆，所述伸缩杆一端固定连接有二号活动轴，所述二号活动轴一端安装有二号连接臂，所述二号连接臂底端安装有二号转盘，所述二号转盘底部表面安装有吸取头，且吸取头设有多组，所述吸取头底部表面安装有真空吸盘，所述二号活动轴一侧安装有真空泵。

进一步地，所述真空泵一端连接有气管，且气管另一端与真空吸盘连接，所述气管一侧安装有排气阀。

进一步地，所述一号活动轴和二号活动轴一端内腔均活动安装有转轴，所述转轴一端安装有二号电机。

进一步地，所述一号转盘和二号转盘一侧均安装有一号电机。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

当二号电机转动的时候可以带动转轴使一号连接臂和二号连接臂转动，这样方便了整个机械壁分段进行上下调节旋转，而且一号转盘的设置，使其整个机械臂在安装座上进行左右旋转，以便机械臂调节位置；液压缸的设置使机械臂可以伸缩调节长度。

二号连接臂的底部安装有二号转盘，二号转盘的底部表面安装有多组的吸取头，吸取头的底部表面安装有真空吸盘通过气管与真空泵连接，这样当真空吸盘贴附到晶圆片的时候，真空泵抽取掉真空吸盘内腔的空气，使真空吸盘将晶圆片吸附住，需要放开的时候排气阀打开将使其真空吸盘放开工件，真空吸盘的的设置采用真空吸附晶圆片，这样使其避免传统机械手夹取会对晶圆片造成损伤，降低损失和成本，比较适合晶圆片较薄脆的物件进行夹取。

二号转盘和多组吸取头的设置使其可以在一号电机的带动作用下进行转动使其调换不同的吸取头的位置，以便放置在测量装置上，这样一次性吸取多个物件进行轮换取放材料，提高工作效率。