[实用新型]一种匀光装置及光匀化设备

权利要求书

1.一种匀光装置，其特征在于，包括第一匀光模组和第二匀光模组，所述第一匀光模组和所述第二匀光模组均能使射入的光被分为相互垂直的两束偏振光，所述第二匀光模组位于所述第一匀光模组的下游，入射光能够依次经过所述第一匀光模组和第二匀光模组后射出。

2.根据权利要求1所述的匀光装置，其特征在于，所述匀光模组包括分光装置和调整装置，所述调整装置位于所述分光装置的下游，所述入射光的入射方向与所述分光装置的光轴的方向呈90°。

3.根据权利要求1所述的匀光装置，其特征在于，所述匀光模组包括分光装置，所述分光装置的光轴的方向与所述入射光的入射方向呈45°。

4.根据权利要求3所述的匀光装置，其特征在于，所述第二匀光模组中的所述分光装置的光轴的方向为，所述第一匀光模组中的所述分光装置的光轴的方向以所述入射光的方向为轴旋转45度。

5.根据权利要求2所述的匀光装置，其特征在于，所述第二匀光模组中的所述分光装置的光轴的方向为，所述第一匀光模组中的所述分光装置的光轴的方向以所述入射光的方向为轴旋转90度。

6.一种光匀化设备，其特征在于，包括如权利要求1-4中任意一项所述的匀光装置。

7.根据权利要求6所述的光匀化设备，其特征在于，还包括光源、隔离模块和输出模块，所述光源发出的光依次经过所述隔离模块、所述匀光装置和输出模块，从所述输出模块处向外输出。

8.根据权利要求7所述的光匀化设备，其特征在于，所述匀光装置和所述输出模块之间具有1/4波片。

9.根据权利要求7所述的光匀化设备，其特征在于，所述隔离模块包括第三分光装置、第三调整装置以及旋转装置，所述第三调整装置位于所述第三分光装置的下游，所述旋转装置位于所述第三调整装置的下游，所述旋转装置连接有磁管。

10.根据权利要求9所述的光匀化设备，其特征在于，所述隔离模块还包括第四分光装置，第四分光装置位于所述旋转装置的下游。