[实用新型]一种晶圆检测用除尘装置有效
| 申请号： | 201920881895.2 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN209843674U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 孙军 | 申请（专利权）人： | 无锡新微阳科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吹尘枪 进气软管 支撑杆 本实用新型 放置槽 承托 圆环 技术方案要点 晶圆检测装置 主体上表面 除尘装置 顶端连接 晶圆表面 竖向设置 喷嘴 气阀 进气端 探针台 粘附的 异物 气罐 种晶 连通 检测 | ||
1.一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：包括若干吹尘枪(6),探针台主体(1)上表面连接有若干呈竖向设置的支撑杆(4)，若干支撑杆(4)围绕放置槽(2)设置，若干支撑杆(4)的顶端连接有同一个承托圆环(5)，吹尘枪(6)连接在承托圆环(5)上，吹尘枪(6)的喷嘴朝向放置槽(2)内，吹尘枪(6)的进气端套设有进气软管(7)，进气软管(7)远离吹尘枪(6)的一端连通有高压存气罐(8)，进气软管(7)的管身上连接有第一通气阀(23)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：吹尘枪(6)转动连接在承托圆环(5)上，探针台主体(1)的上表面设有驱动马达(9)，驱动马达(9)的输出轴固定套设有转动圆盘(10)，转动圆盘(10)背离驱动马达(9)的一侧连接有转动销(11)，转动销(11)位于转动圆盘(10)的边沿处，转动销(11)上转动连接有转动杆(12)，转动杆(12)远离转动销(11)的一端转动连接于吹尘枪(6)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：吹尘枪(6)的枪嘴螺纹连接有密封套筒(14)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：进气软管(7)上连接有过滤箱(15)，过滤箱(15)内设有空气过滤棉(16)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：过滤箱(15)内设置有过滤框(17), 过滤框(17)内设有干燥剂(18)。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：过滤箱(15)的侧壁开有更换口(19)，过滤框(17)滑移在过滤箱(15)内，空气过滤棉(16)和干燥剂(18)位于过滤框(17)内，更换口(19)上铰接有密封门板(20)，密封门板(20)和过滤箱(15)的侧壁螺栓连接有同一个搭扣(21)。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：更换口(19)的四周粘贴有密封橡胶垫(22)。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：吹尘枪(6)上连接有第二通气阀(13)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
