[实用新型]一种用于晶圆探针卡的显微镜校正装置

权利要求书

1.一种用于晶圆探针卡的显微镜校正装置，其特征在于：包括显微镜(1)、夹紧组件(2)和调节组件(3)；

所述夹紧组件(2)包括底支撑板(21)，所述底支撑板(21)上呈竖向固定连接有支柱(22)，所述支柱(22)沿着底支撑板(21)的长度方向相对设置，两侧支柱(22)的顶面分别固定连接有承接板(23)，所述承接板(23)上贴合有压板(24)，两侧压板(24)相对的侧面开有卡槽(241)，所述卡槽(241)位于压板(24)的下表面，所述压板(24)上穿设有锁紧螺栓(25)，所述锁紧螺栓(25)穿入卡槽(241)内，其与压板(24)之间螺纹连接；

所述调节组件(3)包括支撑柱(31)和连接在支撑柱(31)上的延伸杆组(32)，所述显微镜(1)连接在延伸杆组(32)远离支撑柱(31)的一端。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆探针卡的显微镜校正装置，其特征在于：所述压板(24)上开有调节腰孔(242)，所述调节腰孔(242)的长度方向与底支撑板(21)的长度方向一致，穿过调节腰孔(242)设有限位螺杆(26)，所述限位螺杆(26)螺纹连接于承接板(23)，所述限位螺杆(26)的顶端固定连接有用于压紧压板(24)的压盘(261)。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆探针卡的显微镜校正装置，其特征在于：所述延伸杆组(32)包括第一滑块(321)、水平柱(322)、第二滑块(323)、纵向柱(324)，所述第一滑块(321)滑移套设在支撑柱(31)上，所述第一滑块(321)穿设有第一锁死螺栓(325)，所述第一锁死螺栓(325)螺纹连接于第一滑块(321)并抵触于支撑柱(31)，所述水平柱(322)固定连接于第一滑块(321)，所述第二滑块(323)套设在水平柱(322)上，所述纵向柱(324)固定连接在第二滑块(323)上，所述纵向柱(324)远离第二滑块(323)的一端套设有连接套(33)，所述显微镜(1)的侧壁固定连接有过渡板(11)，所述过渡板(11)连接于连接套(33)。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆探针卡的显微镜校正装置，其特征在于：所述第二滑块(323)滑移连接在水平柱(322)上，所述第二滑块(323)穿设有第二锁死螺栓(326)，所述第二锁死螺栓(326)螺纹连接于第二滑块(323)并抵触与水平柱(322)。

5.根据权利要求3所述的一种用于晶圆探针卡的显微镜校正装置，其特征在于：所述连接套(33)朝向显微镜(1)的侧壁呈竖向固定连接有升降齿条(331)，所述升降齿条(331)的横截面呈燕尾状，所述过渡板(11)朝向连接套(33)的一侧竖向开有升降槽(111)，所述升降槽(111)的横截面呈燕尾状，所述升降齿条(331)滑移在升降槽(111)中，所述升降槽(111)中横向穿设有调节杆(5)，所述调节杆(5)上设有啮合于升降齿条(331)的啮合齿牙(51)，所述调节杆(5)转动连接于过渡板(11)，其伸出过渡板(11)的一端固定连接有调节转盘(52)。

6.根据权利要求4所述的一种用于晶圆探针卡的显微镜校正装置，其特征在于：所述水平柱(322)沿着其长度方向开有限制槽(3221)，所述第二滑块(323)的内侧壁设有滑移在限制槽(3221)中的限制块(3231)。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆探针卡的显微镜校正装置，其特征在于：所述支柱(22)包括固定连接在底支撑板(21)上的支撑套(221)和滑移在支撑套(221)内的顶升柱(222)，两侧的顶升柱(222)之间固定连接有一块同步板(41)，所述同步板(41)的下方设有顶升气缸(4)，所述顶升气缸(4)的伸缩杆向上并固定连接于同步板(41)，所述顶升气缸(4)的底部固定连接于底支撑板(21)。

8.根据权利要求7所述的一种用于晶圆探针卡的显微镜校正装置，其特征在于：所述支撑套(221)内放置有支撑压簧(34)，所述顶升柱(222)顶撑在支撑压簧(34)上。