[实用新型]内腔式连续磁控溅射镀膜设备

说明书

本实用新型提供一种内腔式连续磁控溅射镀膜设备，包括中空腔室以及传动结构，所述传动结构能够带动镀膜管从中空腔室的一端进入并由另一端穿出；而所述中空腔室由进管室、连续镀膜室以及出管室依次连通组成，在进管室的两端以及在出管室的两端分别设有真空密封阀，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别密封；在进管室、连续镀膜室以及出管室上分别设有抽气口，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别抽真空；所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，所述靶材通过电源线连接至外部电源，在连续镀膜室上设有贯通内外的布气管。本实用新型可提高靶材利用率，提高镀膜速度以及镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜设备，特别是涉及一种槽式镜面集热管磁控溅射镀膜设备，属于太阳能光热生产设备领域。

背景技术

太阳能具有取之不尽、用之不竭，且清洁环保的巨大优势，已经为社会所接受，并得以快速发展。

当今社会，随着世界各国对化石燃料的大规模使用，促进了经济的快速发展，为人们的生产生活带来了极大的便利。但与此同时，人类赖以生存的生态环境也遭到了严重的破坏，尤其近些年，全球范围内自然灾害频发，雾霾等环境污染十分严重，许多地区常年处于环境污染的重灾区，空气质量极差，能源开采和保护环境这两个相互矛盾的个体已经成为制约经济发展的核心问题，及时调整能源结构，使用安全、清洁的能源迫在眉睫。因此，在这样的背景下，新能源和可再生能源的开发应运而生，逐渐成为当今社会的主流研究方向，以节约能源、保护环境及可持续发展为理念的新能源革命已在全球兴起。

未来几十年世界能源利用的情况预测中，太阳能及地热能等可再生能源将成为世界范围内的主要能源，其中太阳能将成为最具利用价值的能源。究其原因，从广义上讲，地球上存在的所有自然能源，几乎全部来自于太阳能。并且相比于其他几种绿色能源，太阳能具有资源丰富，能量巨大，清洁无污染这几个突出的特点，因而必将成为未来研究的核心能源。

在对太阳能资源的利用方面，国内外学者结合现代科技手段，研究出了太阳能光伏转换技术、太阳能光化学转换技术以及太阳能光热转换技术这三种主要利用方式。相比于前两种，太阳能光热转换技术由于在使用过程中可以产生大量的热能，因而具有十分广泛的用途。其中聚光型太阳能热利用技术由于具有高储热量，间接降低用电成本的突出特点，因而自20世纪以来，引起了国内外各学者的广泛关注。

目前，聚光型太阳能集热器按照接收器的形状不同，主要分为槽式、塔式、碟式以及复合抛物面式几种类型，其中槽式聚光系统是目前国内外开发利用最多的一种集热器类型，主要是因为其具有安装方便，结构简单，安全且可靠性高等优点。太阳能槽式集热器在太阳能利用系统中占据主导地位，它为系统提供热源，其效率和投资成本会影响到整个集热系统的效率和经济性。

太阳能集热器作为太阳能热利用的主要元件，具有十分广泛的应用价值，但相比之下，太阳能槽式集热器比传统的太阳能集热器具有更高的热效率，尤其在热发电领域具有相当成熟的应用技术。

槽式集热器是一种利用的是光热转化方式，通过聚焦、反射和吸收等过程实现光能到热能的转化，使换热介质达到一定温度，以满足不同负载的需求的集热装置。槽式集热器属于中高温集热器的范畴，可以使换热工质得到比较高的温度，可被用到热发电、海水淡化处理、供暖工程、吸收式制冷等生活和生产领域。

由于太阳能广阔的应用前景，太阳能是目前槽式集热器的主要能量来源。太阳能槽式集热器在太阳能利用系统中占据主导地位，它为系统提供热源，其效率和投资成本会影响到整个集热系统的效率和经济性。槽式太阳能集热装置采用真空玻璃管结构，即内管采用镀有高吸收率选择性吸收涂层的金属管，管内走加热介质，在外面为玻璃管，玻璃管与金属管间抽真空以抑制对流和传导热损失。