[实用新型]一种双开门真空镀膜设备

权利要求书

1.一种双开门真空镀膜设备，包括长方体状的真空室（1），其特征在于：所述真空室（1）的两侧开口处，分别设置有真空密封门Ⅰ（2）和真空密封门Ⅱ（3），真空密封门Ⅰ（2）和真空密封门Ⅱ（3）的一端，通过铰链（8）分别与真空室（1）相应侧的开口的侧部相铰接，真空密封门Ⅰ（2）和真空密封门Ⅱ（3）的另外一端，则通过气动锁紧装置（9）锁固在真空室（1）开口的另一侧的外侧壁上；同时，所述真空密封门Ⅰ（2）和真空密封门Ⅱ（3）的两个弧形内侧壁上，一共设置有三个电弧蒸发源组，且每个电弧蒸发源组均由四个电弧蒸发源（4）和四个引弧装置（20）构成，相邻的电弧蒸发源（4）之间设置有加热装置（16）；所述长方体状真空室（1）前部的内侧壁上设置有至少两个用于工件镀膜前离子清洗的离化源（10），真空室（1）内、离化源（10）的前方设置有竖直布置的阳极（12）；所述真空室（1）上、与布置有离化源（10）的前部相对的后部设置有抽气口（6），抽气口（6）通过管路与真空抽气系统相连；真空室（1）的顶部设置有充气孔（17），充气孔（17）通过管路与充气系统相连；所述真空室（1）的内侧还设置有工件旋转架（5），工件旋转架（5）下端的中部设置有竖直布置的转动主轴（13），转动主轴（13）穿出真空室（1）底部的下端，通过减速机（14）与转架驱动电机（15）的输出轴相连。

2.根据权利要求1所述的双开门真空镀膜设备，其特征在于：所述气动锁紧装置（9）包括锁紧气缸（29），锁紧气缸（29）的固定端通过气缸连接座（28）与真空室（1）开口的外侧壁相连；锁紧气缸（29）的伸缩端设置有锁紧压板（30），锁紧压板（30）的端部设置有压合螺柱（31），所述压合螺柱（31）与真空密封门端部的锁固凸沿（32）相压紧配合。

3.根据权利要求1所述的双开门真空镀膜设备，其特征在于：所述电弧蒸发源（4）包括蒸发源连接架（21），蒸发源连接架（21）上可拆卸式设置有靶材（24），靶材（24）远离真空室（1）一侧的后方设置有永磁体（23），靶材（24）朝向真空室（1）一侧的前方则设置有引弧针（27），且靶材（24）与引弧针（27）相接触一侧的周边设置有限弧环（25）；同时，靶材（24）的后侧还设置有水冷管路（22）；所述蒸发源连接架（21）外侧的周边还设置有用于增加引弧效率的电磁线圈（26）。

4.根据权利要求1所述的双开门真空镀膜设备，其特征在于：所述真空室（1）后部的抽气口（6）的截面形状为方形，且抽气口（6）的内部设置有流量调节装置（7），流量调节装置（7）包括贯穿抽气口（6）的两个相对侧壁的转动长轴，转动长轴上设置有沿长轴轴向布置的方形调节阀板；转动长轴伸出到抽气口（6）侧壁外侧的一端与步进电机相连。

5.根据权利要求1所述的双开门真空镀膜设备，其特征在于：所述长方体状真空室（1）顶部的中心位置处设置有预留法兰接口（18）。

6.根据权利要求1所述的双开门真空镀膜设备，其特征在于：所述真空密封门Ⅰ（2）和真空密封门Ⅱ（3）上均设置有观察窗（19）。