[实用新型]复合抛光机床

说明书

本实用新型涉及复合抛光机床，包括六关节机器人，其底部可转动于基座上；六关节机器人的操作端连接有驱动装置；抛光操作机构包括气囊抛光机构和数控抛光机构；气囊抛光机构或数控抛光机构的连接端与驱动装置通过液压胀套可拆卸连接；抛光台设置于六关节机器人的操作端操作范围内；且光学元件固定于抛光台顶部，抛光操作机构与光学元件外轮廓抵接；抛光液循环过滤装置设置于抛光台附近，用于光学元件抛光中持续提供洁净的抛光液；控制终端内预设和/或在线设置抛光工艺程序，六关节机器人、驱动装置和抛光液循环过滤装置均与控制终端电性连接。实现了机床的通用性，提高了光学元件的加工精度和加工效果。

技术领域

本实用新型涉及光学元件制造技术领域，更具体的说是涉及复合抛光机床。

背景技术

高精度光学元件是航空航天和军事国防领域许多重大工程不可或缺的关键基础器件，其指标要求高且需求量巨大，因此发展其精密批量加工装备与技术十分重要。为了提高光学元件加工效率及精度，现有技术中出现了磁流变抛光技术、离子束抛光技术、气囊抛光技术、等离子体抛光技术等，同时基于先进制造技术的各种工艺加工方法被提出，如“超精密磨削+气囊抛光+小工具数控抛光”、“超精密磨削+磁流变抛光+小工具数控抛光”等。英国Zeeko公司的Walker等采用“超精密磨削+气囊抛光”的工艺加工方法完成欧洲超大望远镜工程(E-ELT)所需大口径非球面元件加工，所加工米级口径六边形非球面光学元件面形PV达到62nm，RMS达到11nm。美国QED公司的Dumas等提出采用“超精密磨削+磁流变抛光+小工具数控抛光”工艺方法，经3天抛光加工使300mm×90mm离轴非球面镜面形PV优于λ/20(λ＝632.8nm)。国防科学技术大学的胡浩等基于与QED公司类似的工艺流程，完成楔形非球面镜的抛光加工，获得了高质量的加工效果。激光聚变研究中心的钟波等提出“气囊抛光+沥青小工具抛光”相结合的非球面元件高效制造方法，基于该方法离轴非球面透镜样件全频段指标均达到了合格指标要求。由此可见，通过“气囊抛光+小工具数控抛光”相结合的抛光方法是一种有效的高精度光学元件制造方法。

但是现有技术中气囊抛光和小工具数控抛光两种工艺主要是基于两种专用数控抛光机床实现，由此这种方式需要配置两台数控机床，其价格高昂，另外两种工艺需要两台设备加工，两台设备间元件拆装麻烦，耗时且易出现装夹误差。

因此，如何提供一种满足气囊抛光和小工具数控抛光两种工艺的复合抛光机床是本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种复合抛光机床，解决了现有技术中采用气囊抛光和小工具数控抛光两种工艺抛光光学元件，设备使用成本高，更换设备复杂的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

复合抛光机床，包括：

六关节机器人，六关节机器人底部可转动于基座上；

驱动装置，六关节机器人的操作端连接有驱动装置；

抛光操作机构，抛光操作机构包括气囊抛光机构和数控抛光机构；气囊抛光机构或数控抛光机构的连接端与驱动装置通过液压胀套可拆卸连接；

抛光台，抛光台设置于六关节机器人的操作端操作范围内；且光学元件固定于抛光台顶部，抛光操作机构与光学元件外轮廓抵接；

抛光液循环过滤装置，抛光液循环过滤装置设置于抛光台附近，用于光学元件抛光中持续提供洁净的抛光液；

及控制终端，控制终端内预设和/或在线设置抛光工艺程序，六关节机器人、驱动装置和抛光液循环过滤装置均与控制终端电性连接。