[实用新型]柔性基片拉平装置

权利要求书

1.一种柔性基片拉平装置，其特征在于：包括工作台(4)以及设置于所述工作台(4)上的第一真空吸附机构(2)和第二真空吸附机构(3)，所述第一真空吸附机构(2)用于将边框(1)吸附固定在所述工作台(4)上；所述第二真空吸附机构(3)用于将所述边框(1)向下吸附，使所述边框(1)发生弯曲形变。

2.根据权利要求1所述的柔性基片拉平装置，其特征在于：所述边框(1)由两条相对设置的承载边(101A)和两条相对设置的悬空边(101B)合围而成；所述第一真空吸附机构(2)位于所述边框(1)的两条承载边(101A)下方；所述第二真空吸附机构(3)位于所述边框(1)的两条悬空边(101B)下方。

3.根据权利要求2所述的柔性基片拉平装置，其特征在于：所述边框(1)的两条承载边(101A)吸附于所述工作台(4)；所述边框(1)的两条悬空边(101B)具有向下的弯曲形变但与所述工作台(4)不接触。

4.根据权利要求2所述的柔性基片拉平装置，其特征在于：所述工作台(4)上设有两个支撑凸台(9)，两个所述支撑凸台(9)分别与所述边框(1)的两条承载边(101A)一一对应；所述第一真空吸附机构(2)包括两个真空气路(201)和两组真空吸附孔(202)，两组所述真空吸附孔(202)的一端分别对应设置于两个所述支撑凸台(9)的上表面，两组所述真空吸附孔(202)的另一端分别与两个所述真空气路(201)对应连通。

5.根据权利要求2所述的柔性基片拉平装置，其特征在于：所述第二真空吸附机构(3)包括两个真空吸嘴(301)，两个所述真空吸嘴(301)的吸附面分别位于所述工作台(4)上表面，两个所述真空吸嘴(301)分别与所述边框(1)的两条悬空边(101B)一一对应。

6.根据权利要求4所述的柔性基片拉平装置，其特征在于：各所述真空气路(201)分别设置于所述工作台(4)内部。

7.根据权利要求4所述的柔性基片拉平装置，其特征在于：各所述真空气路(201)分别通过真空转接头(203)与第一真空气源供给设备连接。

8.根据权利要求5所述的柔性基片拉平装置，其特征在于：各所述真空吸嘴(301)分别与各所述悬空边(101B)的中部位置相对应。

9.根据权利要求8所述的柔性基片拉平装置，其特征在于：还包括与两条所述悬空边(101B)一一对应的两组限位件，各组所述限位件分别包括两个限位螺钉(8)，所述真空吸嘴(301)设置于两个所述限位螺钉(8)之间，所述工作台(4)设有用于安装所述限位螺钉(8)的螺纹孔。

10.根据权利要求5所述的柔性基片拉平装置，其特征在于：所述工作台(4)还安装有调节所述真空吸嘴(301)高度的调节机构。