[实用新型]柔性基片拉平装置有效
申请号: | 201920906814.X | 申请日: | 2019-06-17 |
公开(公告)号: | CN210467796U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 刘旭;姚立强 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 李文丽 |
地址: | 102209 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 拉平 装置 | ||
本实用新型涉及自动化生产技术领域,尤其涉及一种柔性基片拉平装置。该柔性基片拉平装置包括工作台以及设置于所述工作台上的第一真空吸附机构和第二真空吸附机构,所述第一真空吸附机构用于将边框吸附固定在所述工作台上,所述第二真空吸附机构用于将所述边框向下吸附,使所述边框发生弯曲形变。本实用新型提供的柔性基片拉平装置,通过控制边框的弯曲形变与弯曲量被释放的过程,实现对柔性基片的拉平动作,进而有效解决了柔性基片在自动化生产过程中的褶皱和不平整问题。
技术领域
本实用新型涉及自动化生产技术领域,尤其涉及一种柔性基片拉平装置。
背景技术
在半导体和太阳能等领域,柔性组件的应用越来越广泛。特别是随着光伏行业快速发展,以及移动能源市场需求快速增长,柔性薄膜光伏组件因其轻、薄、柔等优点,广泛应用于生活中各个领域,如太阳能背包,太阳能无人机、太阳能车顶等。
在柔性组件的生产阶段,需要对柔性基片进行固定。现有柔性基片的固定方式,是通过两段胶条将柔性基片粘贴固定在边框上。这种固定方式虽然解决了生产过程中的抓取和定位问题,但是由于柔性基片的轻、薄、柔特性,使得柔性基片与边框粘贴固定时,经常出现粘贴后的柔性基片褶皱和不平整的问题,给后续的生产工序带来不便。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型的目的是提供一种柔性基片拉平装置,解决现有技术在生产过程中容易出现柔性基片褶皱和不平整的问题。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种柔性基片拉平装置,包括工作台以及设置于所述工作台上的第一真空吸附机构和第二真空吸附机构,所述第一真空吸附机构用于将边框吸附固定在所述工作台上;所述第二真空吸附机构用于将所述边框向下吸附,使所述边框发生弯曲形变。
进一步地,所述边框由两条相对设置的承载边和两条相对设置的悬空边合围而成;所述第一真空吸附机构位于所述边框的两条承载边下方;所述第二真空吸附机构位于所述边框的两条悬空边下方。
具体地,所述边框的两条承载边吸附于所述工作台;所述边框的两条悬空边具有向下的弯曲形变但与所述工作台不接触。
进一步地,所述工作台上设有两个支撑凸台,两个所述支撑凸台分别与所述边框的两条承载边一一对应;所述第一真空吸附机构包括两个真空气路和两组真空吸附孔,两组所述真空吸附孔的一端分别对应设置于两个所述支撑凸台的上表面,两组所述真空吸附孔的另一端分别与两个所述真空气路对应连通。
进一步地,所述第二真空吸附机构包括两个真空吸嘴,两个所述真空吸嘴的吸附面分别位于所述工作台上表面,两个所述真空吸嘴分别与所述边框的两条悬空边一一对应。
具体地,各所述真空气路分别设置于所述工作台内部。
具体地,各所述真空气路分别通过真空转接头与第一真空气源供给设备连接。
具体地,各所述真空吸嘴分别通过真空管路与第二真空气源供给设备连接。
具体地,各所述真空吸嘴分别与各所述悬空边的中部位置相对应。
进一步地,还包括与两条所述悬空边一一对应的两组限位件,各组所述限位件分别包括两个限位螺钉,所述真空吸嘴设置于两个所述限位螺钉之间,所述工作台设有用于安装所述限位螺钉的螺纹孔。
进一步地,所述工作台上还安装有调节所述真空吸嘴高度的调节机构。
(三)有益效果
本实用新型的上述技术方案具有如下优点:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造