[实用新型]一种高温烧结石英舟

说明书

本实用新型涉及石英舟技术领域，且公开了一种高温烧结石英舟。该高温烧结石英舟，包括底座、承片棒、分隔板、通气孔和拉环，所述底座的上表面固定焊接有承片棒，所述承片棒的上表面固定焊接有分隔板，所述分隔板设有通气孔，所述承片棒的左端固定安装有拉环。该高温烧结石英舟，通过分隔板与舟面之间形成的七十五度夹角，使叠在一起的晶片之间具有一定的缝隙，方便石英炉管管中的热气进入到叠放的晶片之间，同时分隔板上设有多个通气孔，通气孔能将石英炉管内的热气充分的进入到晶片内，使晶片烧结更加的充分，提高了达标晶片的质量，提升了晶片的产率和效率。

技术领域

本实用新型涉及石英舟技术领域，具体为一种高温烧结石英舟。

背景技术

石英舟又名石英玻璃，石英玻璃是富合二氧化硅物质，石英玻璃是良好的耐酸材料，除氢氟酸和三百度以上的热磷酸外，在高温下，它能耐硫酸、硝酸、盐酸、王水、中性盐类、碳和硫等侵蚀，其化学稳定性相当于耐酸陶瓷的三十倍，相当于镍铬合金和陶瓷的一百五十倍，它耐高温、耐热震、热膨胀系数特别小。石英玻璃电学性能极佳，在常温下，它的电阻相当于普通玻璃的十倍，对全部频率的介电损失很微小，绝缘耐压强度大。石英玻璃还具有耐宇宙放射线，和不透原子核裂变产物的性质。由于石英玻璃的性能使得它用于电光源、半导体、光学新技术、化工、冶金、电工、科研等方面，而化工方面多用于半导体晶片烧结方面，而在化工方面由以石英舟的使用居多，但是现有石英舟多为刻槽型石英舟，作业时需要人工将半导体晶片一片一片插入石英舟的刻槽内，并且晶片需要与石英棒的刻槽对准，因此装片效率较低，工时较长。同时，在排片、以及高温烧结过程中容易造成晶片碎裂甚至报废。由于在石英棒上刻槽加工需要一定间距才能成型，因此刻槽数量有限，石英舟装片数量相对较少，这就造成了耗工时长、装片效率低下、装片数量少和晶片易碎等问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高温烧结石英舟，具备耗工时短、装片效率高、装片数量多和不易导致晶片破碎等优点，解决了常见的耗工时间长、装片效率低、和易导致晶片破碎的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种高温烧结石英舟，包括底座、承片棒、分隔板、通气孔和拉环，所述底座的上表面固定焊接有承片棒，所述承片棒的上表面固定焊接有分隔板，所述分隔板设有通气孔，所述承片棒的左端固定安装有拉环。

进一步的，所述底座和承片棒都是由两根石英棒组成，且两根承片棒之间的距离小于底座的宽度。

进一步的，所述分隔板的数量为多个，且分隔板与承片棒呈七十五度夹角。

进一步的，所述通气孔的数量为多个，且分布在每个分隔板上。

进一步的，所述拉环的为一个三角形结构拉环，且由石英材料组成。

本实用新型的有益效果是：

1、该高温烧结石英舟，通过使用石英棒舟，改变了传统的石英舟刻槽存放精品店方式，使晶片可以直接叠放在石英棒舟上，同时多个分隔板构成了多个独立的区间，且分隔板与舟面之间有七十五度夹角，使得在区间内叠放晶片的压力分散到分隔板上，避免了晶片直接叠放造成压伤等现象。

2、该高温烧结石英舟，通过分隔板与舟面之间形成的七十五度夹角，使叠在一起的晶片之间具有一定的缝隙，方便石英炉管管中的热气进入到叠放的晶片之间，同时分隔板上设有多个通气孔，通气孔能将石英炉管内的热气充分的进入到晶片内，使晶片烧结更加的充分，提高了达标晶片的质量，提升了晶片的产率和效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中或现有技术中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型结构主视图；

图2为本实用新型结构俯视图；

图3为本实用新型结构左视图。