[实用新型]一种用于硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置

权利要求书

1.一种用于硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置，其特征在于：包括陶瓷盘正面刷洗机构、陶瓷盘侧面刷洗机构、陶瓷盘传输机构和陶瓷盘旋转机构；

所述正面刷洗机构包括毛刷安装座、毛刷和主轴；所述毛刷安装座设有毛刷，毛刷安装座的顶部与主轴的底部相连；主轴四周设有滑动轴；滑动轴外设有滑套，滑套设于钢板上，钢板与主轴固定连接；所述钢板上设有移动气缸；主轴顶部设有安装面板，安装面板上设有浮动接头和带轮电动机，浮动接头与移动气缸配合使用，带轮电动机通过带轮组合与主轴连接；

转台机构包括支撑底板、圆盘和中心轴；所述支撑底板下表面通过升降气缸与升降板上表面连接；中心轴顶部连接圆盘，圆盘位于毛刷安装座正下方；中心轴底部穿过支撑底板和底座中心后与转台电动机相连；中心轴底部设有旋转接头，旋转接头连接真空发生器；

所述传输机构包括导向块、感应轮组件、阻挡气缸、滚筒组合和安装底板；所述安装底板位于支撑底板正上方，圆盘位于安装底板正上方；导向轴顶部与安装底板连接，导向轴底部穿过支撑底板后与升降板连接；所述安装底板上设有感应轮组件、阻挡气缸、导向块和滚筒组合；所述滚筒组合包括电动滚筒、滚轮、皮带和滚轮支架；滚轮通过滚轮支设于安装底板上，皮带设于滚轮和电动滚筒上；

所述侧面刷洗机构包括侧面毛刷、侧刷气缸、边刷支架和底座；所述侧面毛刷设于侧刷气缸上，侧刷气缸通过边刷支架设于底座上；所述底座的两侧设有挡水板；

所述感应轮组件和阻挡气缸均位于电动滚筒和挡水板之间。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述感应轮组件包括感应轮、安装块、升降轴和接近开关，升降轴底部通过安装块设于安装底板上，感应轮和接近开关设于升降轴顶部。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述中心轴外表面套设有轴套；所述滑动轴与主轴两端的连接处、轴套与中心轴连接处均设有角接触球轴承。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：所述滑套与滑动轴连接使用直线轴承，支撑底板与导向轴之间的连接使用带法兰直线轴承。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述底座上设有排水管和喷嘴。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述带轮电动机为伺服电机。