[实用新型]一种用于硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置

说明书

本实用新型提供一种用于硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置，包括陶瓷盘正面刷洗机构、陶瓷盘侧面刷洗机构、陶瓷盘传输机构和陶瓷盘旋转机构；正面刷洗机构包括毛刷安装座、毛刷和主轴；毛刷安装座的设有毛刷，毛刷安装座的顶部与主轴的底部相连；主轴四周设有滑动轴；滑动轴外设有滑套；滑套设于钢板上，钢板与主轴固定连接；钢板上设有移动气缸；主轴顶部设有安装面板，本实用新型区别于目前只能单一刷洗正面的刷洗机构，本装置实用新型能够解决陶瓷盘侧面脏污的问题。并且不仅毛刷可以转动，陶瓷盘也可以转动，使两者转动方向相反，进一步增强刷洗效果。

技术领域

本实用新型是关于陶瓷盘清洗领域，具体涉及一种硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置。

背景技术

硅片常用于制造二极管、集成电路、光伏元件等，市场需求日益增加的同时也对其质量要求越来越严格。硅片的纯度将会影响到其后续产品的开发。在加工时，常先将硅片贴片，后再抛光。用于贴片的陶瓷盘的平整度、洁净度会影响到硅片加工的效果，因此陶瓷盘的清洁也显得尤为重要。

目前的刷洗机构常常只能刷洗正面，无法刷洗侧面，而在陶瓷盘的使用过程中，会有杂志残留在陶瓷盘侧面，影响刷洗效果。并且毛刷和陶瓷盘只有一个能转动，刷洗时间长。

由于市场上的刷洗机构存在以上弊端，急需提供一种刷洗装置，能同时清洗正面和侧面。

因此需要对现有技术进行改进。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是为解决当前技术的不足，提供一种用于硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置。

为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种用于硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置，包括陶瓷盘正面刷洗机构、陶瓷盘侧面刷洗机构、陶瓷盘传输机构和陶瓷盘旋转机构；

正面刷洗机构包括毛刷安装座、毛刷和主轴；毛刷安装座的设有毛刷，毛刷安装座的顶部与主轴的底部相连；主轴四周设有滑动轴；滑动轴外设有滑套；滑套设于钢板上，钢板与主轴固定连接；钢板上设有移动气缸；主轴顶部设有安装面板，安装面板上设有浮动接头和带轮电动机，浮动接头与移动气缸配合使用，带轮电动机通过带轮组合与主轴连接；

转台机构包括支撑底板、圆盘和中心轴；支撑底板下表面通过升降气缸与升降板上表面连接；所中心轴顶部连接圆盘，圆盘位于毛刷安装座正下方；中心轴底部穿过支撑底板和底座中心后与转台电动机相连；中心轴底部设有旋转接头，旋转接头连接真空发生器；

传输机构包括导向块、感应轮组件、阻挡气缸、滚筒组合和安装底板；安装底板位于支撑底板正上方，圆盘位于安装底板正上方；导向轴顶部与安装底板连接，导向轴底部穿过支撑底板后与升降板连接；安装底板上设有感应轮组件、阻挡气缸、导向块和滚筒组合；滚筒组合包括电动滚筒、滚轮、皮带和滚轮支架；滚轮通过滚轮支架设于安装底板上，皮带设于滚轮和电动滚筒上；

侧面刷洗机构包括侧面毛刷、侧刷气缸、边刷支架和底座；侧面毛刷设于侧刷气缸上，侧刷气缸通过边刷支架设于底座上；底座的两侧设有挡水板；

感应轮组件和阻挡气缸均位于电动滚筒和挡水板之间。

作为一种改进，感应轮组件包括感应轮、安装块、升降轴和接近开关，升降轴底部通过安装块设于安装底板上，感应轮和接近开关设于升降轴顶部。

作为一种改进，中心轴外表面套设有轴套；滑动轴与主轴两端的连接处、轴套与中心轴连接处均设有角接触球轴承。

作为一种改进，滑套与滑动轴连接使用直线轴承,支撑底板与导向轴之间的连接使用带法兰直线轴承。

作为一种改进，底座上设有排水管和喷嘴。

作为一种改进，带轮电动机为伺服电机。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：