[实用新型]一种刻蚀槽

权利要求书

1.一种刻蚀槽，包括具有容置腔的槽体(1)，所述容置腔的顶部具有开口，所述开口处盖设有盖板(2)，所述盖板(2)朝向所述容置腔的表面为盖板内表面，其特征在于，所述槽体(1)内设有擦拭装置(3)，所述擦拭装置(3)能够沿第一方向往复运动，以对所述盖板内表面进行擦拭。

2.根据权利要求1所述的刻蚀槽，其特征在于，所述擦拭装置(3)包括驱动机构(31)和沿垂直于所述第一方向的第二方向延伸的擦拭刷(32)，所述擦拭刷(32)与所述盖板内表面抵接，所述驱动机构(31)能够驱动所述擦拭刷(32)沿所述第一方向往复运动，以对所述盖板内表面进行擦拭。

3.根据权利要求2所述的刻蚀槽，其特征在于，所述驱动机构(31)为无杆气缸，所述无杆气缸包括固设于所述容置腔内的活塞杆和能够沿所述活塞杆运动的活塞，所述擦拭刷(32)与所述活塞固定连接，所述擦拭刷(32)能够随所述活塞运动以对所述盖板内表面进行擦拭。

4.根据权利要求3所述的刻蚀槽，其特征在于，所述擦拭刷(32)包括固定部(321)和设于所述固定部(321)上的擦拭部(322)，所述固定部(321)与所述活塞固定连接，所述擦拭部(322)能够抵接于所述盖板内表面以对所述盖板内表面进行擦拭。

5.根据权利要求1所述的刻蚀槽，其特征在于，所述盖板(2)沿所述第一方向延伸且倾斜于水平面设置。

6.根据权利要求5所述的刻蚀槽，其特征在于，所述盖板内表面设有导流凹槽，所述导流凹槽沿所述第一方向延伸。

7.根据权利要求6所述的刻蚀槽，其特征在于，还包括废液收集槽(4)，所述导流凹槽内的液体能够流入所述废液收集槽(4)内。

8.根据权利要求7所述的刻蚀槽，其特征在于，所述废液收集槽(4)设于所述槽体(1)上，且位于所述盖板(2)较低的一端。

9.根据权利要求7所述的刻蚀槽，其特征在于，所述废液收集槽(4)上设有废液排出口(41)，以将所述废液收集槽(4)内的液体排出。

10.根据权利要求1-9任一项所述的刻蚀槽，其特征在于，所述盖板(2)包括第一板(21)和第二板(22)，所述第一板(21)和所述第二板(22)上均设有循环凹槽，所述第一板(21)和所述第二板(22)紧密贴合后所述第一板(21)和所述第二板(22)的所述循环凹槽能够对合形成两端具有开口的循环空洞(23)，所述循环空洞(23)能够允许热气流通过。