[实用新型]一种真空沉积系统样品加热台有效
| 申请号： | 201920916718.3 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN210560721U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 迟力峰;王文冲;王燕东 | 申请（专利权）人： | 苏州驰鸣纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人： | 陈栋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 沉积 系统 样品 加热 | ||
1.一种真空沉积系统样品加热台，其特征在于，包括样品台（1）、加热装置、温度监测装置和绝缘保护层（2），所述样品台（1）设有支架（3）并通过所述支架（3）与真空腔内壁连接固定；所述加热装置包括加热电极（4）和加热导线（5），所述加热电极（4）和加热导线（5）铺设于所述样品台（1）；所述温度监测装置包括温度传感器（6）和温度控制显示器（7），所述温度监测装置的所述温度传感器（6）设于所述样品台（1）。
2.根据权利要求1所述的一种真空沉积系统样品加热台，其特征在于，所述温度监测装置与所述加热装置连接，所述温度监测装置控制所述加热装置使所述样品台（1）的温度控制在600摄氏度以下。
3.根据权利要求1所述的一种真空沉积系统样品加热台，其特征在于，所述加热装置的所述加热电极（4）连接所述加热导线（5），所述加热电极（4）设于所述样品台（1）一侧，所述加热导线（5）铺设于所述样品台上（1）。
4.根据权利要求1所述的一种真空沉积系统样品加热台，其特征在于，所述绝缘保护层（2）覆盖于所述样品台（1）上方将所述加热装置和温度监测装置与待加工样品电隔离。
5.根据权利要求1所述的一种真空沉积系统样品加热台，其特征在于，所述加热装置通过所述加热电极（4）连接导线并通过真空腔上的真空法兰连接到外部控制电源与温控装置。
6.根据权利要求1所述的一种真空沉积系统样品加热台，其特征在于，所述样品台（1）和所述绝缘保护层（2）为内置于真空腔内部。
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