[实用新型]一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置

权利要求书

1.一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，包括呈块状的气路集成模块，所述气路集成模块固定安装在分子泵上；

所述气路集成模块内设有若干气孔，若干所述气孔分别与分子泵排气口、前级泵以及真空规管连接，其中，连接真空规管的气孔与连接前级泵的气孔相通，并且连接真空规管的气孔与连接分子泵排气口的气孔相通；

所述气路集成模块内还设有若干检漏气孔，若干检漏气孔一端与检漏口连接，另一端与分子泵的检口连接。

2.根据权利要求1所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，与所述分子泵排气口连接的气孔为第一气孔，与所述前级泵连接的气孔为第二气孔，与所述真空规管连接的气孔为第三气孔，其中，所述第二气孔与第三气孔平行设置，并且第二气孔与第三气孔之间通过工艺孔连通。

3.根据权利要求2所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，所述工艺孔与所述第二气孔和/或第三气孔垂直。

4.根据权利要求3所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，所述第一气孔与第三气孔连通，所述第一气孔与第三气孔、工艺孔互相垂直。

5.根据权利要求4所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，所述工艺孔远离第二气孔的一端通过第一堵片封住。

6.根据权利要求1所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，所述分子泵具有精检口与中检口，若干所述检漏气孔包括第一检漏气孔与第二检漏气孔，所述分子泵的精检口与中检口分别与所述第一检漏气孔、第二检漏气孔连接。

7.根据权利要求6所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，所述第一检漏气孔与第二检漏气孔平行设置，并且第一检漏气孔与第二检漏气孔在所述气路集成模块中呈上下式分布。

8.根据权利要求7所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，所述气路集成模块内还设有第四气孔，所述第四气孔的一端分别与第一检漏气孔和第二检漏气孔连通，并且所述第四气孔的另一端与氦质谱检漏仪的检漏口连接。

9.根据权利要求8所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，所述第一检漏气孔设有第二堵片，第二检漏气孔中设有通片。

10.根据权利要求8所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，所述第一检漏气孔设有通片，第二检漏气孔设有第二堵片。