[实用新型]一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置

说明书

本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，包括呈块状的气路集成模块，所述气路集成模块固定安装在分子泵上；所述气路集成模块内设有若干气孔，若干所述气孔分别与分子泵排气口、前级泵以及真空规管连接，其中，连接真空规管的气孔与连接前级泵的气孔相通，并且连接真空规管的气孔与连接分子泵排气口的气孔相通；所述气路集成模块内还设有若干检漏气孔，若干检漏气孔一端与检漏口连接，另一端与分子泵的检口连接。本实用新型简化了仪器内部气路，能将真空系统的气路有效的集成到一个模块上，有利于氦质谱检漏仪的小型化发展，而且该装置结构简单，易于实现，可操作性强。

技术领域

本实用新型涉及一种氦检技术，特别涉及一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置。

背景技术

氦质谱检漏仪是一种常见的分析仪器，在制冷行业、汽车制造行业、电力行业、航天行业、核工业、等有着广泛的应用，是真空检漏技术中应用最普遍的一种检漏仪器。氦质谱检漏仪由质谱分析系统、真空系统、电路控制部分三大部分组成，质谱分析系统由离子源、质谱管、磁铁、接收器组成，真空系统由机械泵、分子泵、真空计组成。电路控制部分由电子线路、电气控制、人机交换界面组成。真空系统采用气路连接各元件真空部件，但目前通常采用真空管路来连接各个元件，占用空间较大，不利于氦质谱检漏仪的小型化。

实用新型内容

为了解决上述现有技术中的不足，本实用新型的目的在于提供一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，该装置简化了仪器内部气路，能将真空系统的气路有效的集成到一个模块上，有利于氦质谱检漏仪的小型化发展，而且该装置结构简单，易于实现，可操作性强。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案为：一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，包括呈块状的气路集成模块，所述气路集成模块固定安装在分子泵上；

所述气路集成模块内设有若干气孔，若干所述气孔分别与分子泵排气口、前级泵以及真空规管连接，其中，连接真空规管的气孔与连接前级泵的气孔相通，并且连接真空规管的气孔与连接分子泵排气口的气孔相通；

所述气路集成模块内还设有若干检漏气孔，若干检漏气孔一端与检漏口连接，另一端与分子泵的检口连接。

可选的，与所述分子泵排气口连接的气孔为第一气孔，与所述前级泵连接的气孔为第二气孔，与所述真空规管连接的气孔为第三气孔，其中，所述第二气孔与第三气孔平行设置，并且第二气孔与第三气孔之间通过工艺孔连通。

可选的，所述工艺孔与所述第二气孔和/或第三气孔垂直。

可选的，所述第一气孔与第三气孔连通，所述第一气孔与第三气孔、工艺孔互相垂直。

可选的，所述工艺孔远离第二气孔的一端通过第一堵片封住。

可选的，所述分子泵具有精检口与中检口，若干所述检漏气孔包括第一检漏气孔与第二检漏气孔，所述分子泵的精检口与中检口分别与所述第一检漏气孔、第二检漏气孔连接。

可选的，所述第一检漏气孔与第二检漏气孔平行设置，并且第一检漏气孔与第二检漏气孔在所述气路集成模块中呈上下式分布。

可选的，所述气路集成模块内还设有第四气孔，所述第四气孔的一端分别与第一检漏气孔和第二检漏气孔连通，并且所述第四气孔的另一端与氦质谱检漏仪的检漏口连接。

优选的，所述第一检漏气孔设有第二堵片，第二检漏气孔中设有通片。

优选的，所述第一检漏气孔设有通片，第二检漏气孔设有第二堵片。

采用上述技术方案，本实用新型通过在气路集成模块内开设气孔以及检漏气孔，使分子泵能够通过气孔以及检漏气孔连接各个元件，使真空气路系统有序排布，从而简化了氦质谱检漏仪的真空气路系统，通过将真空系统的气路有效的集成到一个模块上，有利于氦质谱检漏仪的小型化发展，而且该装置结构简单，易于实现，可操作性强。