[实用新型]一种循环式扫描曝光机

权利要求书

1.一种循环式扫描曝光机，包括有底座，设置在底座上的曝光台，以及用于工件曝光的曝光装置，其特征在于：所述的曝光台上分别设有两组用于工件供料的左供料机构和右供料机构，左供料机构和右供料机构把曝光台分成左曝光区和右曝光区，所述的左供料机构和右供料机构均包括有用于支撑放置工件的由多个相互平行设置的倒U形支撑柱组成的支撑柱组件，以及用于把支撑柱组件上的工件托起传送的传送板，传送板上设有与支撑柱组件配合的顶柱组件，底座上设有驱动顶柱组件上下移动以及沿进出料方向移动的传送驱动机构，所述的底座上设有横跨曝光台的曝光装置支架，一排以上所述的曝光装置滑动设于曝光装置支架上，曝光装置支架上设有驱动一排以上的曝光装置沿曝光装置支架移动的曝光装置驱动机构；所述的底座上设有驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架移动的曝光装置支架驱动机构。

2.如权利要求1所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述的左供料机构和右供料机构上均设有用于检测工件弯曲的传感器。

3.如权利要求2所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述的传感器设置在顶柱组件上，对应工件的四角下方均设有一个传感器。

4.如权利要求2所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述的传感器设置在支撑柱组件上，对应工件的四角侧面均设有一个传感器。

5.如权利要求1所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述的顶柱组件上设有用于把工件吸附在顶柱组件上的吸风口。

6.如权利要求1所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述的传送驱动机构包括有驱动顶柱组件上下移动的第一驱动气缸和驱动第一驱动气缸沿进出料方向移动的第二驱动气缸，所述的顶柱组件与第一驱动气缸的活塞杆固定连接。

7.如权利要求1所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述曝光装置驱动机构为曝光装置直线电机驱动。

8.如权利要求1所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述曝光装置支架驱动机构为曝光装置支架直线电机驱动。