[实用新型]一种循环式扫描曝光机

说明书

本实用新型涉及光学设备领域，解决现有工件曝光设备曝光效率低的问题。本申请公开了一种循环式扫描曝光机，包括有底座，设置在底座上的曝光台，以及曝光装置，曝光台上分别设有两组用于工件供料的左供料机构和右供料机构，曝光装置支架上设有驱动一排以上的曝光装置移动的曝光装置驱动机构；底座上设有驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架移动的曝光装置支架驱动机构。左供料机构和右供料机构可以同时把工件托起准备曝光，当左边的工件曝光完毕，曝光装置移动到右边的工件直接进行曝光，同时左边的供料机构把曝光的工件传送出料，再把左边支撑柱组件上未曝光的工件传送托起准备曝光，依次循环；传感器用于检测工件是否弯曲，从而剔除不合格的工件；从而曝光效率高，不需要有上料等待时间。

技术领域

本实用新型涉及光学设备领域，尤其涉及一种循环式扫描曝光机。

背景技术

现有的曝光扫描方式通常是将工件放到曝光台上后，作曝光动作，交换工件方式必须等前一工件移开后,另工件才能移入。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决现有技术的工件曝光设备曝光效率低的问题。

为解决本实用新型所提出的技术问题采用的技术方案为：本实用新型的循环式扫描曝光机包括有底座，设置在底座上的曝光台，以及用于工件曝光的曝光装置，所述的曝光台上分别设有两组用于工件供料的左供料机构和右供料机构，左供料机构和右供料机构把曝光台分成左曝光区和右曝光区，所述的左供料机构和右供料机构均包括有用于支撑放置工件的由多个相互平行设置的倒U形支撑柱组成的支撑柱组件，以及用于把支撑柱组件上的工件托起传送的传送板，传送板上设有与支撑柱组件配合的顶柱组件，底座上设有驱动顶柱组件上下移动以及沿进出料方向移动的传送驱动机构，所述的底座上设有横跨曝光台的曝光装置支架，一排以上所述的曝光装置滑动设于曝光装置支架上，曝光装置支架上设有驱动一排以上的曝光装置沿曝光装置支架移动的曝光装置驱动机构；所述的底座上设有驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架移动的曝光装置支架驱动机构。

对本实用新型作进一步限定的技术方案包括：

所述的左供料机构和右供料机构上均设有用于检测工件弯曲的传感器。

所述的传感器设置在顶柱组件上，对应工件的四角下方均设有一个传感器。

所述的传感器设置在支撑柱组件上，对应工件的四角侧面均设有一个传感器。

所述的顶柱组件上设有用于把工件吸附在顶柱组件上的吸风口。

所述的传送驱动机构包括有驱动顶柱组件上下移动的第一驱动气缸和驱动第一驱动气缸沿进出料方向移动的第二驱动气缸，所述的顶柱组件与第一驱动气缸的活塞杆固定连接。

所述曝光装置驱动机构为曝光装置直线电机驱动。

所述曝光装置支架驱动机构为曝光装置支架直线电机驱动。

通过上述技术方案，本实用新型的有益效果为：本实用新型的循环式扫描曝光机的左供料机构和右供料机构可以同时把工件托起准备曝光，当左边的工件曝光完毕，曝光装置移动到右边的工件直接进行曝光，同时左边的供料机构把曝光的工件传送出料，再把左边支撑柱组件上未曝光的工件传送托起准备曝光，依次循环；传感器用于检测工件是否弯曲，从而剔除不合格的工件；从而曝光效率高，不需要有上料等待时间。

附图说明

图1为本实用新型一种循环式扫描曝光机的立体结构示意图。

图2为本实用新型一种循环式扫描曝光机的立体结构示意图。

图3为本实用新型一种循环式扫描曝光机的传感器位于工件四角下方时的结构示意图。

图4为本实用新型一种循环式扫描曝光机的传感器位于工件四角侧面时的结构示意图。