[实用新型]一种芯片老化加工设备及其芯片固定装置

权利要求书

1.一种芯片固定装置，用于芯片老化加工设备，其特征在于，包括：

芯片承载组件，所述芯片承载组件的安装面上开设有若干芯片放置位，待加工芯片一一对应地放置于所述芯片放置位、并分别与所述芯片承载组件电连接；

夹具座，所述夹具座安装于所述芯片承载组件的上方，并与所述芯片承载组件配合夹持待加工芯片；

定位卡扣，所述定位卡扣的连接端通过转轴可转动地安装于所述夹具座，其固定端可分离地固接于所述夹具座；所述定位卡扣的固定端与所述夹具座处于分离状态时，在外力作用下向靠近或远离所述芯片承载组件的方向运动，以便所述夹具座与所述芯片承载组件夹紧或解除夹紧。

2.根据权利要求1所述的芯片固定装置，其特征在于，所述定位卡扣的固定端为卡勾，所述夹具座上设置有钩挂槽，所述卡勾可分离地固接于所述钩挂槽内。

3.根据权利要求2所述的芯片固定装置，其特征在于，所述定位卡扣为空心结构，且所述转轴穿过所述定位卡扣的内部空槽，并以其两端与所述夹具座固定连接，所述定位卡扣能够在外力作用下绕所述转轴转动。

4.根据权利要求3所述的芯片固定装置，其特征在于，所述空槽内设置有回位弹簧，所述回位弹簧的一端固接于所述定位卡扣，其另一端固接于所述转轴。

5.根据权利要求4所述的芯片固定装置，其特征在于，所述定位卡扣远离所述夹具座的一端设置有扣板，所述扣板与所述定位卡扣固定连接。

6.根据权利要求5所述的芯片固定装置，其特征在于，所述扣板与所述定位卡扣螺栓连接。

7.根据权利要求6所述的芯片固定装置，其特征在于，所述夹具座的端部开设有避让槽，所述定位卡扣位于所述避让槽内。

8.一种芯片老化加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的芯片固定装置。