[实用新型]多晶硅还原炉电极绝缘组件

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉电极绝缘组件，其特征在于，包括：

第一密封件，设置于底盘与电极之间，第一密封件用于对电极进行密封，防止多晶硅还原炉内的物料与电极接触；

第二密封件，设置于第一密封件与电极之间，且第一密封件位于第二密封件的外围，第二密封件用于对电极进一步密封，防止多晶硅还原炉内的物料与电极接触；

第一绝缘件，设置于底盘与电极之间，第一绝缘件用于底盘与电极之间绝缘，至少部分第一绝缘件包覆于第一密封件与第二密封件外，使得第一密封件、第二密封件与多晶硅还原炉的炉腔隔绝。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉电极绝缘组件，其特征在于，至少部分第二密封件套置于电极外，第一密封件与第二密封件接触形成凹槽，部分第一绝缘件插入到凹槽内。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉电极绝缘组件，其特征在于，第二密封件的底部叠置于电极侧壁的凸起上。

4.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉电极绝缘组件，其特征在于，还包括：设置于第二密封件的底部与电极侧壁的凸起之间的垫片。

5.根据权利要求2所述的多晶硅还原炉电极绝缘组件，其特征在于，第一绝缘件包括：绝缘部和与其连接的支撑部，绝缘部套置于电极外围，支撑部插入到凹槽内。

6.根据权利要求5所述的多晶硅还原炉电极绝缘组件，其特征在于，绝缘部与底盘对应部分的外表面贴合，绝缘部与电极对应部分的外表面贴合，第一密封件和第二密封件在绝缘部、底盘、电极围成的容纳空间内。

7.根据权利要求5所述的多晶硅还原炉电极绝缘组件，其特征在于，第一绝缘件还包括：设置于绝缘部侧壁外的凸耳，凸耳位于绝缘部侧壁外远离电极的一侧，凸耳用于操作者夹持移动第一绝缘件。

8.根据权利要求2所述的多晶硅还原炉电极绝缘组件，其特征在于，第二密封件包括：密封部和与其连接的连接部，密封部套置在电极外，密封部与电极对应部分的外表面贴合，连接部与第一密封件接触在第二密封件与第一密封件之间形成凹槽。

9.根据权利要求1、2、4～8任意一项所述的多晶硅还原炉电极绝缘组件，其特征在于，第一密封件嵌入在底盘内。

10.根据权利要求1、2、4～8任意一项所述的多晶硅还原炉电极绝缘组件，其特征在于，还包括：位于第一绝缘件外的第二绝缘件，第二绝缘件位于底盘上，电极的头部从第二绝缘件中伸出，第二绝缘件用于将第一绝缘件与多晶硅还原炉的炉腔隔离。