[实用新型]多晶硅还原炉电极绝缘组件

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅还原炉电极绝缘组件，包括：第一密封件，设置于底盘与电极之间，第一密封件用于对电极进行密封，防止多晶硅还原炉内的物料与电极接触；第二密封件，设置于第一密封件与电极之间，且第一密封件位于第二密封件的外围，第二密封件用于对电极进一步密封，防止多晶硅还原炉内的物料与电极接触；第一绝缘件，设置于底盘与电极之间，第一绝缘件用于底盘与电极之间绝缘，至少部分第一绝缘件包覆于第一密封件与第二密封件外。上述绝缘组件，不仅提高了电极与底盘的绝缘性能，还具有良好的密封效果，降低了多晶硅还原炉运行过程中因绝缘低而造成的接地问题，避免了电极槽内部积灰造成的缺相和绝缘问题，减少了电极附近的污染。

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅还原炉电极绝缘组件。

背景技术

多晶硅生产过程中，多晶硅还原炉内电极穿过还原炉底盘，将硅芯通过石墨套件及绝缘陶瓷环套件固定在电极上，通过电极为硅芯接通电流，加热硅芯，从而达到发生还原化学气相沉积所需温度。其中石墨套件主要起到固定硅芯、支撑硅棒和与硅芯接触导通电流的作用，绝缘陶瓷环主要起到隔绝电极与还原炉底盘，绝缘保护、避免放电现象发生的作用。

现阶段，多晶硅产品的辅材成本主要来源于两个方面，一方面主要是车间石墨套件使用消耗。另一个主要原因是由于陶瓷环损耗造成。近两年来，随着氮化硅材料的兴起，多晶硅生产中使用的绝缘陶瓷环也由原来的氧化铝材质改变为了氮化硅材质。但氮化硅原材料和产品的加工难度大，成本高，在使用中虽然坚固，但清洗陶瓷环过程中仍会出现意外损耗，且由于36对棒还原炉四氟套与电极之间的间隙不能完全通过陶瓷环消除，在使用中会造成四氟套卷边情况，间隙中杂物残留较多，且陶瓷环结硅依旧严重，且陶瓷环对底盘不具有密封性。因此，底盘电极孔内污染严重。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种多晶硅还原炉电极绝缘组件，避免了电极槽内部积灰造成的缺相和绝缘问题，减少了电极附近的污染。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是提供一种多晶硅还原炉电极绝缘组件，包括：

第一密封件，设置于底盘与电极之间，第一密封件用于对电极进行密封，防止多晶硅还原炉内的物料与电极接触；

第二密封件，设置于第一密封件与电极之间，且第一密封件位于第二密封件的外围，第二密封件用于对电极进一步密封，防止多晶硅还原炉内的物料与电极接触；

第一绝缘件，设置于底盘与电极之间，第一绝缘件用于底盘与电极之间绝缘，至少部分第一绝缘件包覆于第一密封件与第二密封件外，使得第一密封件、第二密封件与多晶硅还原炉的炉腔隔绝。

优选的是，至少部分第二密封件套置于电极外，第一密封件与第二密封件接触形成凹槽，部分第一绝缘件插入到凹槽内。

优选的是，第二密封件的底部叠置于电极侧壁的凸起上。

优选的是，所述的多晶硅还原炉电极绝缘组件，还包括：设置于第二密封件的底部与电极侧壁的凸起之间的垫片。

优选的是，第一绝缘件包括：绝缘部和与其连接的支撑部，绝缘部套置于电极外围，支撑部插入到凹槽内。

优选的是，绝缘部与底盘对应部分的外表面贴合，绝缘部与电极对应部分的外表面贴合，第一密封件和第二密封件在绝缘部、底盘、电极围成的容纳空间内。

优选的是，第一绝缘件还包括：设置于绝缘部侧壁外的凸耳，凸耳位于绝缘部侧壁外远离电极的一侧，凸耳用于操作者夹持移动第一绝缘件。

优选的是，第二密封件包括：密封部和与其连接的连接部，密封部套置在电极外，密封部与电极对应部分的外表面贴合，连接部与第一密封件接触在第二密封件与第一密封件之间形成凹槽。凹槽以连接部为底壁，以第二密封部为靠近电极的侧壁，以第一密封件为远离电极的侧壁。