[实用新型]一种用于电镀设备的电镀溶液输入装置和相应电镀设备

权利要求书

1.一种用于电镀设备的电镀溶液输入装置，其特征在于，包括：

电镀溶液进口，其被配置为输入电镀溶液；

第一电镀溶液管道，其与电镀溶液进口连通以用于引导电镀溶液；以及

第一组多个电镀溶液输入口，其与第一电镀溶液管道连通以用于将电镀溶液从第一电镀溶液管道输入到电镀设备中，其中所述第一组多个电镀溶液输入口被定向为使得所输出的电镀溶液以第一方向转动。

2.根据权利要求1所述的电镀溶液输入装置，其特征在于，还包括：

第二电镀溶液管道，其与电镀溶液进口连通以用于引导电镀溶液；以及

第二组多个电镀溶液输入口，其与第二电镀溶液管道连通以用于将电镀溶液从第二电镀溶液管道输入到电镀设备中，其中所述第二组多个电镀溶液输入口被定向为使得所输出的电镀溶液以与第一方向相反的第二方向转动。

3.根据权利要求1或2所述的电镀溶液输入装置，其特征在于，第一方向为顺时针方向，并且第二方向为逆时针方向；或者

第二方向为顺时针方向，并且第一方向为逆时针方向。

4.根据权利要求1或2所述的电镀溶液输入装置，其特征在于，所述电镀溶液输入口为喷嘴。

5.根据权利要求1或2所述的电镀溶液输入装置，其特征在于，所述电镀溶液进口包括四个电镀溶液进口，它们依次间隔90°布置。

6.根据权利要求1或2所述的电镀溶液输入装置，其特征在于，第一电镀溶液管道和/或第二电镀溶液管道为环形，其中：

第一组多个电镀溶液输入口中的每个被定向为与第一电镀溶液管道和该电镀溶液输入口的交点处的切线成第一角度；和/或

第二组多个电镀溶液输入口中的每个被定向为与第二电镀溶液管道和该电镀溶液输入口的交点处的切线成第二角度，其中第二角度和第一角度的开口方向相反。

7.一种电镀设备，其具有根据权利要求1至6之一所述的电镀溶液输入装置，其中所述电镀溶液输入装置布置在所述电镀设备的阳极与高电阻虚拟阳极HRVA之间。

8.根据权利要求7所述的电镀设备，其中所述电镀设备是用于电镀铜的电镀设备。