[实用新型]等离子喷涂靶材表面除杂系统

权利要求书

1.等离子喷涂靶材表面除杂系统，其特征在于：包括吸附管道(30)，所述吸附管道(30)包括外管(31)、设置在外管(31)内部的内管(32)，所述外管(31)与内管(32)之间设置有吸附腔(33)，所述外管(31)包括第一直管(311)和第一锥管(312)，所述第一锥管(312)的大端与第一直管(311)的首端连通，所述内管(32)包括第二直管(321)和第二锥管(322)，所述第二锥管(322)的大端与第二直管(321)的首端连通，所述第二直管(321)的尾端与第一直管(311)的尾端密封连接，所述第一锥管(312)的小端与第二锥管(322)的小端之间设置有与吸附腔(33)相连通的开口(34)；所述外管(31)的外部设置有连管(35)，所述连管(35)的内腔与吸附腔(33)连通；所述内管(32)的内壁设置有隔热层(40)，所述外管(31)的外侧固设有夹套(50)，所述夹套(50)与外管(31)的外侧壁之间设置有换热腔(51)，所述夹套(50)的下方设置有与换热腔(51)相连通的进水管(52)，所述夹套(50)的上方设置有与换热腔(51)相连通的出水管(53)。

2.根据权利要求1所述的等离子喷涂靶材表面除杂系统，其特征在于：所述第一锥管(312)小端的外周设置有多个沿着第一锥管(312)小端外周分布的金属箔条(60)，所述金属箔条(60)的尾端与第一锥管(312)的小端连接为一体，相邻金属箔条(60)之间设置有间隙。

3.根据权利要求2所述的等离子喷涂靶材表面除杂系统，其特征在于：所述金属箔条(60)的厚度小于或等于30微米。

4.根据权利要求1所述的等离子喷涂靶材表面除杂系统，其特征在于：所述第一锥管(312)内侧壁的锥角为45°，所述第二锥管(322)外侧壁的锥角为45°。