[实用新型]一种便于散热的齿状金刚石划片刀有效

专利信息
申请号: 201920933101.2 申请日: 2019-06-20
公开(公告)号: CN211334086U 公开(公告)日: 2020-08-25
发明(设计)人: 田硕 申请(专利权)人: 深圳市华腾半导体设备有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02;B28D7/02
代理公司: 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 代理人: 王翀
地址: 518000 广东省深圳市南山区桃源街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 便于 散热 齿状 金刚石 划片
【说明书】:

实用新型公开了一种便于散热的齿状金刚石划片刀,包括环形刀体(1),环形刀体(1)外周面成形有若干齿形刀刃(2),所述齿形刀刃(2)顶部形成刀刃圆角(R1),相邻齿形刀刃(2)之间的过度段为刃间过渡圆角(R2)。本实用新型的刃口采用齿状结构,起到了更好的排屑散热效果;刀片由金刚石磨料和复合金属基体组合而成,刀片散热性好,满足了一种无水切割工艺的的切割要求。

技术领域

本实用新型属于一种金刚石划刀片领域,尤其涉及一种新型齿状金刚石划片刀。

背景技术

划片工艺是半导体封装的重要工序,该工序是利用高速旋转的划片刀将整片晶圆切割成单个芯片,可以划切太阳能电池板、硅片、陶瓷片、LED、集成电路等多种材料。随着新材料新技术的不断出现,一种新型半导体材料需要在无水冷却的环境下切割,这对刀片的散热提出了更高的要求,已知的半导体划片刀均为圆形,且存在连贯刃口和开槽刃口两种结构,实际切割时此种类刀片在无水环境下由于刀片冷却效果不佳、刀面不利于排屑,导致切割质量不佳,刀片使用寿命短。为此本公司公开了一种齿状划片刀,但是其散热性能还需要加强。

实用新型内容

本实用新型的目的是,设计一种新型的便于散热的齿状金刚石划片刀,本实用新型的刃口采用齿状结构,起到了更好的排屑效果,同时提高了切割效率,刀片本身散热性好,且通过凹槽使得刀片切割工件时,凹槽与外界空气通透,从而便于散热,满足了无水切割的切割要求。

为了达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:

一种包括环形刀体1,环形刀体1外周面成形有若干齿形刀刃2,所述齿形刀刃2顶部形成刀刃圆角R1,相邻齿形刀刃2之间的过渡段为刃间过渡圆角R2,其特征在于,所述环形刀体1两侧面的周向均成形有散热凹槽3。

进一步的改进,所述刀刃圆角R1的圆心角为0.6mm。

进一步的改进,所述刃间过渡圆角R2的圆心角为0.24mm。

进一步的改进,所述齿形刀刃2的齿数为64个。

本实用新型的优点如下:

本实用新型的划片刀排屑方便,利于切割时的散热,提高了切割速度和切割品质,并且延长划片刀使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

实施例1

一种包括环形刀体1,环形刀体1外周面成形有若干齿形刀刃2,所述齿形刀刃2顶部形成刀刃圆角R1,相邻齿形刀刃2之间的过渡段为刃间过渡圆角R2,所述环形刀体1两侧面的周向均成形有散热凹槽3。刀刃圆角R1为0.6mm。刃间过渡圆角R2为0.24mm。齿数为64个。

上述实施例仅仅是本实用新型的一个具体实施方式,不作为对本实用新型的限定。

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