[实用新型]测量装置

权利要求书

1.一种测量装置,包括自动测试设备，所述自动测试设备包括精密测量单元，其特征在于，所述测量装置还包括差分电路，所述差分电路包括第一输入端、第二输入端、输出端，所述差分电路的输出端用于将第一输入端和第二输入端输入的电信号的电压差值输出至所述精密测量单元；所述测量装置用于根据所述电压差值获得所述第一输入端连接的测试点和第二输入端连接的测试点之间的差分电信号。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述精密测量单元的测量精度为量程的0.5‰。

3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括放大电路，所述放大电路的输入端连接所述差分电路的输出端，所述放大电路的输出端连接所述精密测量单元，所述放大电路用于将所述电压差值放大后再输出至所述精密测量单元。

4.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述差分电路包括高共模电压差分放大器INA117。

5.根据权利要求3所述的测量装置，其特征在于，所述放大电路包括运算放大器。

6.根据权利要求3所述的测量装置，其特征在于，所述放大电路的放大倍数大于等于10且小于等于200。

7.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述差分电信号是差分电压。

8.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述自动测试设备的精密测量单元是共地源的精密测量单元。

9.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括用于放置待测器件的承载台。

10.根据权利要求3所述的测量装置，其特征在于，所述精密测量单元采用最小量程测量所述差分电信号。