[实用新型]测量装置

说明书

本实用新型涉及一种测量装置。包括自动测试设备、精密测量单元和差分电路，差分电路包括第一输入端、第二输入端和输出端，差分电路的输出端用于将第一输入端和第二输入端输入的电信号的电压差值输出至所述精密测量单元；测量装置用于根据所述电压差值获得所述第一输入端连接的测试点和第二输入端连接的测试点之间的差分电信号。通过差分电路将输入的电信号的电压差值输出至精密测量单元，根据电压差值获得两测试点之间的差分电信号，有效去除了共模信号对差分电信号的干扰，同时消除了共模电压对精密测量单元量程选择的影响，使得精密测量单元可以使用较小的量程测量差分电信号，能够得到更高的测量精度。

技术领域

本实用新型涉及电路测试装置，特别是涉及一种测量装置。

背景技术

PMU(Precision Measurement Unit，精密测量单元)是ATE(Auto TestEquipment，自动测试设备)用于精确的DC参数测量的基本模块，其测量精度一般为量程的0.5‰。在PMU为共地源的ATE中，如需测量DUT(Decive Under Test，被测器件)端口A和端口B之间的差分电压，ATE需要使用两个PMU分别测量端口A、B的电压信号，再进行减法运算，当端口A、B存在10V或以上共模电压时，用于测量的PMU的量程不得不选取10V以上的量程，这时PMU的测量精度最高为5mV。倘若端口A、B间待测量的有效差分信号小于50mV，将意味着测量值可能存在10％以上的误差，显然该方案已无法满足差分小信号测量的精度需求。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种在测量差分小信号时能够有较佳的测量精度的测量装置。

一种测量装置,包括自动测试设备，所述自动测试设备包括精密测量单元，所述测量装置还包括差分电路，所述差分电路包括第一输入端、第二输入端、输出端，所述差分电路的输出端用于将第一输入端和第二输入端输入的电信号的电压差值输出至精密测量单元。所述测量装置用于根据电压差值获得第一输入端连接的测试点和第二输入端连接的测试点之间的差分电信号。

在其中一个实施例中，精密测量单元的测量精度为量程的0.5‰。

在其中一个实施例中，测量装置还包括放大电路，所述放大电路的输入端连接差分电路的输出端，放大电路的输出端连接精密测量单元，放大电路用于将电压差值放大后再输出至精密测量单元。

在其中一个实施例中，差分电路包括高共模电压差分放大器INA117。

在其中一个实施例中，放大电路包括运算放大器。

在其中一个实施例中，放大电路的放大倍数大于等于10且小于等于200。

在其中一个实施例中，差分电信号是差分电压。

在其中一个实施例中，所述自动测试设备的精密测量单元是共地源的精密测量单元。

在其中一个实施例中，测量装置还包括用于放置待测器件的承载台。

在其中一个实施例中，精密测量单元采用最小量程测量所述差分电信号。

上述测量装置通过差分电路的输出端将第一输入端和第二输入端输入的电信号的电压差值输出至精密测量单元，测量装置根据电压差值获得第一输入端连接的测试点和第二输入端连接的测试点之间的差分电信号，有效去除了共模信号对差分电信号的干扰，同时消除了共模电压对精密测量单元量程选择的影响，使得精密测量单元可以使用较小的量程测量差分电信号，使得测量差分小信号时，能够得到更高的测量精度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他实施例的附图。